[发明专利]一种用于溅镀式镀膜机台的承载台

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于溅镀式镀膜机台的承载台。

背景技术

镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。镀膜技术是利用物理、化学手段在固体表面涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁或绝缘等许多优越性能，从而达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。溅镀是镀膜技术中的一种，其利用辉光放电产生的离子去撞击靶材，将靶材内的原子撞出而沉积在基材上。由于溅镀具有极佳的沉积效率、大尺寸的沉积厚度控制、精确的成份控制及较低的制造成本等优点，因此在工业上的应用非常广泛。

现在为了防止手机相机光学模块中的镜筒、镜座等组件受到手机中其他元件的电磁干扰，通常需要在光学模块中的镜筒、镜座等组件上镀一层抗EMI(Flectro MagneticInterference)膜。在业界，常用连续式溅镀机(in-line sputtering)对镜筒、镜座等组件进行镀膜，这种连续式溅镀机具有速度快、产量高且镀膜品质好等优点。然而，这种连续式溅镀机所包括的用于承载待镀组件的载台的散热性能不佳，导致载台上的组件温度过高进而造成扭曲变形等损伤。

发明内容

有鉴于此，提供一种散热性能良好的用于溅镀式镀膜机台的承载台实为必要。

本发明提供了一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：一第一载具及一中空的第二载具。该第一载具包括一承载部及与其相对的底部。该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部。该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。

相较于现有技术，所述用于溅镀式镀膜机台的承载台具有用于承载待镀膜元件的第一载具结构，该第一载具具有至少一突起，该突起的形状与待镀膜元件的形状相配合，在对待镀膜的元件进行镀膜时，待镀膜的元件套设于该突起上，由于该第一载具及突起均由导热性能良好的金属制成，且待镀元件套设于该突起之上，使待镀元件与该突起及第一载具的接触面积最大，可使待镀元件的散热面积达到最大，故待镀元件的热量可以通过第一载具传导至该第二载具从而防止待镀膜的元件上的温度过高进而对其造成损伤。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种用于溅镀式镀膜机台的承载台的立体示意图。

图2是图1中沿II-II的截面示意图。

图3是利用图1中承载台对待镀膜的元件进行镀膜的一状态示意图。

图4是图3中沿IV-IV的截面示意图。

具体实施方式

下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。

请参阅图1及图2，本发明实施例提供的一种用于溅镀式镀膜机台的承载台100包括一第一载具10及一中空的第二载具20。

该第一载具10为长方形平板状结构，其包括一承载部11及与其相对的底部12，该承载部11延伸出至少一个突起13，所述突起13具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部12。

该待镀元件将套设在该至少一个突起13上。该至少一个突起13为多个，其均匀排布于该第一载具10上。该突起具有的形状与该待镀元件是相互配合的。例如：此处待镀膜的元件为一种镜筒，该镜筒是一种中空圆柱体结构，那么突起13的结构可以设置成圆柱体，该圆柱体突起的大小刚好跟镜筒内部的空间大小相同，这样设置的目的是，使该待镀元件，即镜筒的内壁，跟该突起完全接触，而达到接触面积最大，以利于热量的传递。

可以理解的是，该突起13也可以为其他结构，例如长方体、圆锥体或其他不规则形状，只要能够承载待镀膜的元件并使待镀膜的元件与该突起13及承载部11紧密接触即可。

可以理解的是，该第一载具10的结构也可以是其他结构，例如圆形板状结构，扇形或其他形状等，其可以根据具体需要而设计。

该第一载具10的材料应选自导热性能良好的金属材料，例如：铜、铝、铁、镍、钛、钢、碳钢、不锈钢，及铜、铝、铁、镍、钛之中至少两种金属的合金等。在本实施例中，该第一载具10所用材料为铜。

该第二载具20为中空结构的长方形或其他形状结构，该第二载具20与该第一载具10的底部12紧密结合，用于吸收该第一载具10的底部12传递的热量。

在本实施例中，该第一载具10和中空的第二载具20均为平板形结构。可以理解的是，其具体形状和结构可以根据实际需要而设计，并不局限于此结构。