[发明专利]镜片的表面形貌检测方法

权利要求书

【权利要求1】一种镜片的表面形貌检测方法，包括步骤:

提供待检测镜片，其具有待检测表面；

于所述待检测表面镀覆厚度均匀的增反膜；

以反射式干涉仪对待检测镜片镀有增反膜的待检测表面进行形貌检测。

【权利要求2】如权利要求1所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述增反膜的反射率大于等于20％。

【权利要求3】如权利要求1所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述增反膜的厚度为60~500纳米。

【权利要求4】如权利要求1所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述于待检测表面镀覆增反膜的方法为选自加热式蒸镀、电子枪加热式蒸镀、离子辅助式蒸镀及射频溅镀中的一种。

【权利要求5】如权利要求1所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述增反膜为单层膜，且所述单层膜的折射率大于待检测镜片的折射率。

【权利要求6】如权利要求5所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述单层膜的材料为选自硫化锌、二氧化钛及氧化钽中的一种。

【权利要求7】如权利要求5所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述单层膜的光学膜厚为(kλ/2-λ/4)，其中，k为自然数，λ为检测光束的波长。

【权利要求8】如权利要求1所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述增反膜为由高折射率膜层和低折射率膜层交替叠加形成的多层膜结构。

【权利要求9】如权利要求8所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述低折射率膜层的材料为氟化镁或氧化硅，所述高折射率膜层的材料为硫化锌、二氧化钛或氧化钽。

【权利要求10】如权利要求1所述的镜片的表面形貌检测方法，其特征在于，所述反射式干涉仪为反射式白光干涉仪或反射式激光干涉仪。