[发明专利]镜片的表面形貌检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种镜片的检测技术，尤其涉及一种镜片的表面形貌检测方法。

背景技术

传统镜片的加工工艺通常包括选材、切割、滚圆、成型、粗细磨及抛光等工序。选材是指选择适当的材料来加工成镜片，切割工序是指选材后从整块的光学玻璃坯体中切取适当大小的加工坯体，滚圆是指将切割后的坯体利用砂轮磨成圆形外形的过程，成型是指采用车削、研磨等方式将滚圆后的坯体加工成预定曲率半径的球面或非球面的过程，粗细磨和抛光工序的目的是对成型后的光学组件表面进行进一步的精细加工，消除镜片上的刀纹、裂痕层等。在抛光过程中及抛光之后，需要对传统玻璃镜片的表面形貌进行检测，以保证制成的镜片符合设计要求。树脂镜片在注射成型、剪除浇口后也需要对镜片表面形貌进行检测。

Gagnon，N.等人于2005年4月发表于；Microwaves，Antennas and Propagation，IEEProceedings的文献“Accurate phase measurement of passive non-reciprocalquasi-optical components”揭示了一种精确测量非交互被动准光学元件形状的方法。通常来说，对表面形貌精度要求较低的镜片可以采用光学样板进行检测，对表面形貌精度要求较高的镜片则需采用反射式干涉仪进行检测。

反射式干涉仪包括光源、分光器件和参照表面，其中，分光器件将光源发出的光束分成射向参照表面的参照光束和射向待检测物体的检测光束，被参照表面反射的参照光束和被待检测物体反射的检测光束因相位差而产生干涉图样，反射式干涉仪根据干涉图样即可分析被检测物体的表面形貌。反射式干涉仪属于非接触测量仪器，不但不会损伤被探测物体的表面，而且检测结果具有极高的分辨率，可以对较大的表面进行检测和分析处理。因此，仅需被检测物体必须具有一定的反射率，可反射足够的光束以形成清晰的干涉图样，反射式干涉仪即可分析出较为准确的检测结果。

然而，镜片通常由玻璃或树脂制成，对光束的反射率通常不超过7％。也就是说，采用反射式干涉仪检测镜片的表面形貌时，仅有极少量的检测光束可被反射回反射式干涉仪方向，该些被反射的检测光束不足以形成干涉图样或者不足以形成清晰的、可被分析的干涉图样，从而造成反射式干涉仪不能分析或不能准确分析镜片的表面形貌。

因此，有必要提供一种具有较高准确性的镜片的表面形貌检测方法。

发明内容

以下，将以实施例说明一种具有较高准确性的镜片的表面形貌检测方法。

一种镜片的表面形貌检测方法，包括步骤:

提供待检测镜片，其具有一待检测表面；

于所述待检测表面镀覆厚度均匀的增反膜；

以反射式干涉仪对待检测镜片镀有增反膜的待检测表面进行形貌检测。

本技术方案的镜片的表面形貌检测方法包括一于待检测镜片的待检测表面上镀增反膜的步骤，以大幅度增加待检测镜片的反射率，使得反射式干涉仪可接收到较多的反射光束从而形成足够清晰的干涉图样。因此，反射式干涉仪可根据该足够清晰的干涉图样对待检测镜片的表面形貌做出较准确的分析结果，即，本技术方案的镜片的表面形貌检测方法提高了对镜片表面形貌检测的准确性。

附图说明

图1是本技术方案实施方式提供的镜片的表面形貌检测方法的流程图。

图2是本技术方案实施方式提供的待检测镜片的示意图。

图3是本技术方案实施方式提供的待检测镜片镀增反膜后的示意图。

图4是本技术方案实施方式提供的检测待检测镜片时的光路示意图。

具体实施方式

下面将结合附图及实施例，对本技术方案的镜片的表面形貌检测方法作进一步的详细说明。

请参阅图1，本技术方案实施方式提供的镜片的表面形貌检测方法包括以下步骤：

第一步，提供待检测镜片，其具有待检测表面。

所述待检测镜片可以为已进行切割、滚圆、成型、粗细磨及抛光的玻璃镜片，也可以为注射成型后已剪除浇口的树脂镜片，也可以为其他已进行初步加工成型的复合镜片。

请参阅图2，本实施方式提供的待检测镜片10为抛光后的玻璃镜片。该待检测镜片10包括主体部11和周边部12。所述主体部11为镜片中起光学作用的部分。所述周边部12为镜片中不起光学作用的部分，呈圆环状，包围并连接主体部11。

所述主体部11具有相对的第一表面111和第二表面112，所述第一表面111、第二表面112均可以为待检测表面。本实施方式中，仅以第一表面111作为待检测表面为例，说明本实施方式提供的镜片的表面形貌检测方法。