[发明专利]溅镀载台无效
| 申请号： | 200710202213.2 | 申请日： | 2007-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101418434A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 骆世平 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅镀载台 | ||
1.一种溅镀载台，用于承载被镀物以进行溅镀制程，其包括本体和承载体，其特征在于：所述本体为由第一边框、第二边框、第三边框和第四边框组成的中空框体，所述第一边框和第三边框相对设置且分别设置有长形凹槽，所述第二边框和第四边框相对设置且分别设置有线圈，所述承载体为由第五边框、第六边框、第七边框和第八边框组成的中空框体，所述第五边框与第七边框相对设置且分别向远离承载体的方向形成突块，所述突块活动地设置在所述凹槽内，所述突块靠近所述第六边框或第八边框，所述第六边框或者第八边框上设有磁铁。
2.如权利要求1所述的溅镀载台，其特征在于：所述第二边框和第四边框分别设置有定位槽，所述第六边框和第八边框分别向远离所述承载体的方向突起形成第一定位部和第二定位部，所述磁铁设置在第一定位部或第二定位部上，所述第一定位部或第二定位部卡入定位槽中。
3.如权利要求2所述的溅镀载台，其特征在于：所述突块靠近第八边框，所述第二边框与第四边框之间的距离大于等于两倍的突块与所述第六边框之间的距离。
4.如权利要求2所述的溅镀载台，其特征在于：所述突块靠近第六边框，所述第二边框与第四边框之间的距离大于等于两倍的突块与所述第八边框之间的距离。
5.如权利要求1至4任一项所述的溅镀载台，其特征在于：进一步包括固定件，所述固定件包括螺丝和固定板，所述承载体至少一角设置第一螺纹孔，所述固定板具有第二螺纹孔，所述螺丝旋入第一螺纹孔、第二螺纹孔以将一被镀物固定在所述承载体上。
6.如权利要求5所述的溅镀载台，其特征在于：所述第二边框和第四边框由铁镍合金或者铁钴合金制成。
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