[发明专利]膜粘贴方法及膜粘贴装置有效
申请号: | 200710300481.8 | 申请日: | 2007-12-28 |
公开(公告)号: | CN101214747A | 公开(公告)日: | 2008-07-09 |
发明(设计)人: | 石田刚;武末功;今冈修刚 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立工业设备技术 |
主分类号: | B32B37/02 | 分类号: | B32B37/02;B32B38/10 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 史雁鸣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粘贴 方法 装置 | ||
1.一种膜粘贴方法,包括基板和片状的膜,所述膜具有与前述基板相称的大小且将一个面作为粘贴面,所述膜粘贴方法用于剥离设置在前述膜的粘结面上的保护膜,粘贴到前述基板上,其特征在于,
保持前述基板,沿着大致铅直方向载置前述基板,
利用前端部吸附板和吸附板保持前述膜,使之与前述基板相对向,将前端部对准位置之后,利用设置在前述吸附板侧的压接辊加压接合,在保持由前述压接辊加压的状态下,通过将前述吸附板移动到铅直方向的下侧,将前述膜粘贴到前述基板上。
2.如权利要求1所述的膜粘贴方法,其特征在于,
使由与前述膜的前端部相对应的前端吸附板和与膜的前端之外的区域相对应的吸附板保持的膜沿铅直方向竖起,将前述基板以规定的量倾斜保持在前述吸附板侧,在将压接辊压紧在前述膜的前端位置的状态下,使前述压接辊移动到铅直方向的下侧,在从前述膜的前端直到末端保持恒定的状态下,利用压接辊进行前述膜的粘贴。
3.如权利要求2所述的膜粘贴方法,其特征在于,
利用从前述压接辊的背面侧压紧前述压接辊的多个压紧辊,抑制在将前述膜压紧到前述基板上时在前述压紧辊上产生的弯曲。
4.一种膜粘贴方法,对于基板和具有与前述基板相称的大小的片状的膜,剥离设置在前述膜的粘结面上的保护膜,粘贴到前述基板上,其特征在于,
利用前端吸附板保持前述膜的前端部,利用吸附板保持膜的前述前端部之外的区域,在一面将前述膜粘贴到前述基板上、一面将前述膜从前述吸附板的面上剥离并移动时,利用前述膜的移动量来控制送到设置在前述吸附板上的吸附孔列的负压。
5.一种膜粘贴装置,对于基板和具有与前述基板相称的大小的片状的膜,剥离设置在前述膜的粘结面上的保护膜,粘贴到前述基板上,其特征在于,该膜粘贴装置包括:
基板竖立机构,所述基板竖立机构相对于处于铅直方向的前述膜,以规定的量倾斜保持前述基板;前端吸附板,所述前端吸附吸板在与前述保护膜相反面侧吸附保持与前述基板的一边侧相对应的前述膜的前端部;吸附板,所述吸附板吸附保持膜的前述前端部之外的区域;吸附板竖立机构,所述吸附板竖立机构使前述前端吸附板和前述吸附板沿铅直方向竖起;前端吸附板释放脱离机构,所述前端吸附板释放脱离机构使前述前端吸附板从膜的前端部侧脱离。
6.如权利要求5所述的膜粘贴装置,其特征在于,
在吸附保持前述膜的前述吸附板上,设置有多个吸附孔列,吸附孔列被划分成多个区域,在前述区域的每一个上连接有供应负压的吸引配管,在各个吸引配管上设置有开闭阀。
7.如权利要求6所述的膜粘贴装置,其特征在于,
配备有可以根据吸附保持在前述吸附板上的前述膜的位置来改变前述开闭阀的开闭及供应给吸附孔的负压力的控制装置。
8.如权利要求5所述的膜粘贴装置,其特征在于,
在将前述膜加压以便压接到基板上的压接辊的背面,设置多个压紧辊,所述压紧辊将前述压接辊压紧。
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