[发明专利]液滴喷出装置、和器件的制造方法

权利要求书

1.一种液滴喷出装置，具备：

喷头，其具有形成了喷出功能液的液滴的喷出口的喷出面；

第一容器，其借助流路而与所述喷头连接，并形成对提供给所述喷头的所述功能液进行收纳的第一空间；

第二容器，其收纳所述第一容器，并在其与所述第一容器之间形成第二空间；

压力调节装置，其对所述第二空间的压力进行调节；和

温度调节装置，其对所述第一容器的功能液的温度进行调节，

所述第一容器的至少一部分由对应于所述压力调节装置的动作发生变形的膜形成。

2.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其中，

所述压力调节装置根据所述第一容器的功能液的表面和所述喷头的喷出口的位置关系来调节所述第二空间的压力

3.如权利要求2所述的液滴喷出装置，其中，

所述第一容器的功能液的表面配置在所述喷头的喷出口的上方，

所述压力调节装置对所述第二空间减压。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的液滴喷出装置，其中，

该液滴喷出装置还具备连结装置，其以可以装卸的方式将所述流路和所述喷头连结，

当从所述流路卸下所述喷头时，所述压力调节装置对所述第二空间减压。

5.如权利要求1～4中任意一项所述的液滴喷出装置，其中，

所述温度调节装置对所述第一容器的功能液进行冷却。

6.如权利要求5所述的液滴喷出装置，其中，

所述温度调节装置使所述第一容器的功能液的温度降低到至少比所述喷头的喷出口附近的温度还低。

7.如权利要求1～6中任意一项所述的液滴喷出装置，其中，

该液滴喷出装置还具备：

形成于所述第二容器上且连通所述第二容器内侧的空间和外侧的空间的开口；和

对所述开口进行开闭的开闭机构。

8.如权利要求7所述的液滴喷出装置，其中，

所述开口包括：用于使所述第一容器在所述第二容器内侧的空间和外侧的空间之间通过的第一开口、和用于将所述第二容器的内侧空间向大气开放的第二开口的至少一方。

9.一种器件的制造方法，包括：

使用权利要求1～8中任意一项所述的液滴喷出装置向基板喷出液滴，在所述基板上形成图案的动作；和

对所述基板的液滴进行干燥的动作。