[发明专利]液滴喷出装置、和器件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及液滴喷出装置、和器件的制造方法。

背景技术

作为用于形成器件图案的手法之一，已知有用功能液的液滴在基板上形成图案的液滴喷出法(喷墨法)。在下述专利文献中公开有基于液滴喷出法在基板上形成图案的液滴喷出装置(喷墨装置)的相关技术的一例。

专利文献1：特开平11-248926号公报

液滴喷出装置具有：喷出液滴的喷头、和借助流路与喷头连接并形成收纳功能液的空间的容器。一直以来，为了抑制功能液从喷头的喷出口漏出等，例如在与喷头连接的流路上设置自密封阀等阀机构，使用该阀机构调节喷头的内部空间的压力。在使用阀机构的情况下，例如有可能在阀机构的流路发生功能液的一部分(例如功能液的固体成分、溶质)堵塞等不良情况。当出现这样的不良情况时，液滴喷出装置有可能无法很好地喷出液滴。再有，在阀机构的流路中堵塞的功能液的一部分成为异物，有可能使制造出的器件的性能劣化。再有，如果阀机构的构造变得复杂，有可能装置的成本上升，或者维修作业变得繁杂。再有，由于收纳功能液的空间的容器的构造而导致有可能使功能液的物性发生变化。

发明内容

本发明正是鉴于如上所述的情况而完成的发明，其目的在于，提供一种在抑制功能液的物性变化的同时能以简单的结构调节功能液的压力的液滴喷出装置。再有，其目的还在于，提供一种使用该液滴喷出装置的器件的制造方法。

为了解决上述的课题，本发明采用以下的构成。

基于本发明的第一观点，提供一种液滴喷出装置，其具备：具有形成喷出功能液的液滴的喷出口的喷出面的喷头、借助流路而与上述喷头连接并形成对提供给上述喷头的上述功能液进行收纳的第一空间的第一容器、收纳上述第一容器并在其与上述第一容器之间形成第二空间的第二容器、对上述第二空间的压力进行调节的压力调节装置、和对上述第一容器的功能液的温度进行调节的温度调节装置，上述第一容器的至少一部分由对应于上述压力调节装置的动作而发生变形的膜形成。

根据本发明的第一观点，因为在至少一部分由膜形成的第一容器中收纳功能液，用第二容器收纳该第一容器，用压力调节装置来调节位于第一容器和第二容器之间的第二空间的压力，所以可以在抑制功能液的物性变化的同时以简单的结构调节功能液的压力。当通过例如含有真空系统的压力调节装置直接调节由第一容器形成的第一空间的压力时，收纳在该第一空间内的功能液的液体成分(例如分散剂、溶剂)气化，功能液的浓度和/或粘度有可能发生变化。不用压力调节装置直接调节第一空间的压力，而是用压力调节装置调节至少一部分由膜形成的第一容器和第二容器之间的空间的压力，由此抑制功能液的气化，抑制功能液的浓度和/或粘度等物性的变化，同时将第一空间的压力调节成需要的压力。再有，虽然根据功能液的种类的不同，物性有可能根据温度的变化而改变，但通过设置温度调节装置，可以抑制由温度变化引起的功能液的物性变化。

在本发明的液滴喷出装置中，上述压力调节装置可以采用根据上述第一容器的功能液的表面和上述喷头的喷出口的位置关系来调节上述第二空间的压力的构成。由此，可以在抑制功能从喷头的喷出口漏出的同时以希望的状态喷出液滴。例如，通过根据功能液充满流路的状态下的第一容器的功能液的表面和喷头的喷出口的高度方向(垂直方向)的位置关系、所谓的水位差来调节第二空间的压力，可以在抑制功能液从喷头的喷出口漏出的同时以希望的状态喷出液滴。

在本发明的液滴喷出装置中，上述第一容器的功能液的表面配置在上述喷头的喷出口的上方，上述压力调节装置采用对上述第二空间进行减压的构成。由此，可以在抑制功能液从喷头的喷出口漏出的同时以希望的状态将液滴喷出。例如，在喷出口附近的压力为大气压的情况下，使第二空间降低为至少低于大气压，由此可以在抑制功能液从喷头的喷出口漏出的同时以希望的状态将液滴喷出。

在本发明的液滴喷出装置中，具备以可以装卸的方式将上述流路和上述喷头连结的连结装置，当将上述喷头从上述流路上卸下来时，上述压力调节装置采用对上述第二空间进行减压的构成。由此，可以在抑制功能液的漏出的同时，将喷头从流路上卸下来，或者更换新的喷头，可以顺利地进行保养作业等。

在本发明的液滴喷出装置中，上述温度调节装置采用对上述第一容器的功能液进行冷却的构成。由此，可以抑制由温度变化引起的功能液的物性变化。再有，在液滴喷出装置的运转长时间停止的情况下(从喷头的喷出口的液滴喷出动作长时间停止的情况)，通过持续冷却第一容器的功能液，可以抑制功能液的物性变化。