[发明专利]光图像计测装置

权利要求书

1.一种光图像计测装置，其特征在于：包括：

光源，输出低相干光；

干涉光产生元件，将前述输出的低相干光分割成导向被测定物体的信号光以及导向参照物体的参照光，并使经由前述被测定物体的信号光和经由前述参照物体的参照光重叠，以产生干涉光；

变更元件，改变前述信号光和前述参照光的光路径长度差；

检测元件，检测前述产生的干涉光；

图像形成装置，基于前述检测元件的检测结果，形成图像；

分析元件，分析前述形成的图像，计算出前述图像的信号水平或相对于信号水平的噪声比，判断前述信号水平或相对于信号水平的噪声比是否超过临界值；及

控制元件，控制前述变更元件，在通过分析元件判断为信号水平或相对于信号水平的噪声比超过前述临界值时，改变前述光路径长度差。

2.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述控制元件在当通过前述分析元件判断为临界值以下时，以指定距离改变前述光路径长度差，

前述分析元件在前述光路径长度差以指定距离改变后，计算出基于前述检测出的干涉光的新图像的信号水平或相对于信号水平的噪声比，并判断前述新的信号水平或相对于信号水平的噪声比是否超过前述临界值。

3.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述图像形成元件是在预定的图框内形成图像，

前述控制元件改变前述光路径长度差，以使得将与在被前述分析元件判断为超过前述临界值的图像上的前述被测定物体的预定深度位置相当的部分图像，配置在前述预定的图框内。

4.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述分析元件对被前述分析元件判断为超过前述临界值的图像计型分析，求取在前述预定图框内的前述部分图像的位置，并且计算出该位置和前述指定位置的位移，

前述控制元件通过以与前述位移对应的距离来改变前述光路径长度差，使前述部分图像配置在前述指定位置。

5.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述参照物体为反射前述参照光的镜片，

前述变更元件包含驱动元件，使前述镜片在前述参照光的行进方向上移动。

6.一种光图像计测装置，其特征在于：包括：

光源，输出低相干光；

干涉光产生元件，将前述输出的低相干光分割成导向被测定物体的信号光以及导向参照物体的参照光，并使经由前述被测定物体的信号光和经由前述参照物体的参照光重叠，以产生干涉光；

变更元件，改变前述信号光和前述参照光的光路径长度差；

检测元件，检测前述产生的干涉光；

图像形成装置，基于前述检测元件的检测结果，在预定的图框内形成图像；及

控制元件，控制前述变更元件，改变前述光路径长度差，以使得将在前述形成的图像上的与前述被测定物体的预定深度位置相当的部分图像，配置在前述预定的图框内的指定位置。

7.根据权利要求6所述的光图像计测装置，其特征在于：

前述参照物体为反射前述参照光的镜片，

前述变更元件包含驱动元件，使前述镜片在前述参照光的行进方向上移动。