[发明专利]检查方法、检查装置及存储了程序的计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种检查方法，将探针与被检查物接触，进行被检查物的电特性的检查，其特征在于，具有：

将两根一组的探针对与被检查物接触，向该探针对施加电压产生熔结现象，使探针和被检查物之间电导通的熔结工序，

其中，在所述熔结工序中向所述探针对之间施加多次电压，并交替改变向该探针对施加的电压的极性。

2.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，

在熔结工序中还具有：在完成向探针对一次电压施加后，测定探针和被检查物的电导通性的工序，

当该测定的电导通性没有达到预先设定的基准时，执行改变极性向所述探针对进行下一次电压施加。

3.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，

向所述探针对的多次电压施加按照使各探针中阳极和阴极的次数相同的方式来进行。

4.一种检查装置，将探针与被检查物接触，进行被检查物的电特性的检查，其特征在于，具有：

熔结电路，向与被检查物接触的两根一组的探针对之间施加电压，产生熔结现象，使探针和被检查物之间电导通；

切换电路，将所述探针对和熔结电路电连接，并可自由切换向所述探针对施加的电压的极性。

5.如权利要求4所述的检查装置，其特征在于，还具有：

测定电路，使用所述探针对测定探针与被检查物之间的电导通性。

6.一种计算机可读存储介质，存储有在控制检测装置的控制部的计算机上运行的程序，使得由检查装置执行权利要求1～3中任一所述的检查方法。