[发明专利]甩胶喷雾热分解薄膜制备设备无效
申请号: | 200710304424.7 | 申请日: | 2007-12-27 |
公开(公告)号: | CN101245452A | 公开(公告)日: | 2008-08-20 |
发明(设计)人: | 朱江;武光明 | 申请(专利权)人: | 北京石油化工学院 |
主分类号: | C23C20/00 | 分类号: | C23C20/00 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郑立明;孟丽娟 |
地址: | 102617北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷雾 分解 薄膜 制备 设备 | ||
1、一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备,其特征在于,该设备包括:
转筒(7)、加热装置(5)、底座(6)、传动机构、测温装置(17)、喷嘴(2)、雾化装置(15)、转动装置(10)、抽气装置(16)、上盖(18)、围壁(14)和平台(4)构成;
转筒(7)通过轴承(8)设置在底座(6)上,转动装置(10)设置在转筒(7)外侧,通过传动机构驱动设置在所述底座(6)上的转筒(7);
转筒(7)的上方设有由开口的平台(4)、围壁(14)与上盖(18)构成的反应室,转筒(7)的上端通过所述平台(4)的开口设置在反应室内,上盖(18)上设有喷嘴(2)和抽气孔,所述喷嘴(2)与转筒(7)上固定的衬底(3)相对应,喷嘴(2)通过管路与雾化装置(15)连接;所述抽气孔与抽气装置(16)连接;
转筒(7)下面的底座(6)上设有与转筒(7)上固定的衬底(3)对应的加热装置(5)和测温装置(17),加热装置(5)与测温装置(17)分别与控温装置(9)连接。
2、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述传动机构为转筒(7)外面设置的齿轮(13),该齿轮(13)与转筒(7)外侧设置的转动装置(10)的转轴(11)上的主动齿轮(12)啮合。
3、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述传动机构为转筒(7)外面设置的转轮(213),该转轮(213)通过传动带(212)与转筒(7)外侧设置的转动装置(10)的转轴(11)上的主动轮(211)连接。
4、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述测温装置(18)为热电偶,设置在转筒(4)上固定的衬底下面。
5、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述反应室由围壁(14)设置在平台(4)上,上盖(19)设置在围壁(14)上与平台(4)相对应,上盖(19)、围壁(14)与平台(19)共同构成反应室。
6、根据权利要求5所述的设备,其特征在于,所述围壁(14)为石英管。
7、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述加热装置(5)下面的底座上设有隔热层(19)。
8、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述雾化装置(15)采用空气压缩雾化器或超声波雾化器。
9、根据权利要求1至8任一项所述的设备,其特征在于,所述转动装置(10)为可调速电动机。
10、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述雾化装置(15)与喷嘴(2)连接的管路上设有调节阀(20)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属