[发明专利]甩胶喷雾热分解薄膜制备设备无效

专利信息
申请号: 200710304424.7 申请日: 2007-12-27
公开(公告)号: CN101245452A 公开(公告)日: 2008-08-20
发明(设计)人: 朱江;武光明 申请(专利权)人: 北京石油化工学院
主分类号: C23C20/00 分类号: C23C20/00
代理公司: 北京凯特来知识产权代理有限公司 代理人: 郑立明;孟丽娟
地址: 102617北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 喷雾 分解 薄膜 制备 设备
【权利要求书】:

1、一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备,其特征在于,该设备包括:

转筒(7)、加热装置(5)、底座(6)、传动机构、测温装置(17)、喷嘴(2)、雾化装置(15)、转动装置(10)、抽气装置(16)、上盖(18)、围壁(14)和平台(4)构成;

转筒(7)通过轴承(8)设置在底座(6)上,转动装置(10)设置在转筒(7)外侧,通过传动机构驱动设置在所述底座(6)上的转筒(7);

转筒(7)的上方设有由开口的平台(4)、围壁(14)与上盖(18)构成的反应室,转筒(7)的上端通过所述平台(4)的开口设置在反应室内,上盖(18)上设有喷嘴(2)和抽气孔,所述喷嘴(2)与转筒(7)上固定的衬底(3)相对应,喷嘴(2)通过管路与雾化装置(15)连接;所述抽气孔与抽气装置(16)连接;

转筒(7)下面的底座(6)上设有与转筒(7)上固定的衬底(3)对应的加热装置(5)和测温装置(17),加热装置(5)与测温装置(17)分别与控温装置(9)连接。

2、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述传动机构为转筒(7)外面设置的齿轮(13),该齿轮(13)与转筒(7)外侧设置的转动装置(10)的转轴(11)上的主动齿轮(12)啮合。

3、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述传动机构为转筒(7)外面设置的转轮(213),该转轮(213)通过传动带(212)与转筒(7)外侧设置的转动装置(10)的转轴(11)上的主动轮(211)连接。

4、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述测温装置(18)为热电偶,设置在转筒(4)上固定的衬底下面。

5、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述反应室由围壁(14)设置在平台(4)上,上盖(19)设置在围壁(14)上与平台(4)相对应,上盖(19)、围壁(14)与平台(19)共同构成反应室。

6、根据权利要求5所述的设备,其特征在于,所述围壁(14)为石英管。

7、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述加热装置(5)下面的底座上设有隔热层(19)。

8、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述雾化装置(15)采用空气压缩雾化器或超声波雾化器。

9、根据权利要求1至8任一项所述的设备,其特征在于,所述转动装置(10)为可调速电动机。

10、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述雾化装置(15)与喷嘴(2)连接的管路上设有调节阀(20)。

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