[发明专利]甩胶喷雾热分解薄膜制备设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种制备薄膜的设备，尤其涉及一种使用甩胶喷雾热分解的方法制备薄膜的设备。

背景技术

薄膜制备的方法有很多种，如溶胶凝胶法、化学气相沉积、金属有机盐沉积等化学方法，还包括液相外延、溅射、蒸发等物理方法，现在还常采用一种喷雾热分解法来制备薄膜，这种方法使用图1所示的设备，用这种方法制备薄膜时，将配制好的溶液经压缩空气雾化器A4雾化后，在载流气体的带动下，通过喷嘴A1喷进放置有被加热基板A2的容器中，使雾化体经电热丝A3烘烤后挥发去溶剂并一步分解沉积在基板上成膜，在基板上获得光洁明亮的薄膜。

从上述对现有喷雾热分解法制备薄膜的过程中，发明人发现上述现有技术至少存在以下问题：

由于喷雾成膜的过程为一层层逐渐进行，因此导致最后形成的薄膜厚度不均匀，常常出现中间部分已达到厚度要求，而薄膜周边的厚度却未达到要求，且制备薄膜的速度较慢，因此上述的喷雾热分解法所用的设备无法制备出厚度均匀符合要求的薄膜，同时存在工作效率不高的缺点。

发明内容

本发明实施方式提供了一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，该设备可以方便快速的制备厚度均匀、洁净、不龟裂的薄膜，且可以避免加热装置对转动甩胶时用的转动装置的影响。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明实施方式提供了一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，该设备包括：

转筒、加热装置、底座、传动机构、测温装置、喷嘴、雾化装置、转动装置、抽气装置、上盖、围壁和平台构成；

转筒通过轴承设置在底座上，转动装置设置在转筒外侧，通过传动机构驱动设置在所述底座上的转筒；

转筒的上方设有由开口的平台、围壁与上盖构成的反应室，转筒的上端通过所述平台的开口设置在反应室内，上盖上设有喷嘴和抽气孔，所述喷嘴与转筒上固定的衬底相对应，喷嘴通过管路与雾化装置连接；所述抽气孔与抽气装置连接；

转筒下面的底座上设有与转筒上固定的衬底对应的加热装置和测温装置，加热装置与测温装置分别与控温装置连接。

所述传动机构为转筒外面设置的齿轮，该齿轮与转筒外侧设置的转动装置的转轴上的主动齿轮啮合。

所述传动机构为转筒外面设置的转轮，该转轮通过传动带与转筒外侧设置的转动装置的转轴上的主动轮连接。

所述测温装置为热电偶，设置在转筒上固定的衬底下面。

所述反应室由围壁设置在平台上，上盖设置在围壁上与平台相对应，上盖、围壁与平台共同构成反应室。

所述围壁为石英管。

所述加热装置下面的底座上设有隔热层。

所述雾化装置采用空气压缩雾化器或超声波雾化器。

所述转动装置为可调速电动机。

所述雾化装置与喷嘴连接的管路上设有调节阀。

由上述本发明实施例提供的技术方案可以看出，本发明实施方式通过转动装置经传动机构驱动设有衬底的转筒转动，并与转向筒上方设置的与雾化装置连接的喷嘴及转筒下面的加热装置相配合，形成甩胶喷雾热分解的方式制备薄膜。该设备可以方便、快速的制备薄膜，且制备的薄膜不会出现龟裂现象，由于转动装置设置在转筒的外侧，不会受到加热装置的影响。该设备结构简单，通过测温装置可以准确测得转筒上的衬底处的温度，方便制备薄膜时的温度控制。

附图说明

图1为现有技术提供的喷雾热分解法制备薄膜的设备的结构示意图；

图2为本发明实施例一的薄膜制备设备的结构示意图；

图3为本发明实施例二的薄膜制备设备的结构示意图。

具体实施方式

本发明实施方式提供的是一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，该设备在底座上设置转筒，转筒上设置衬底，转筒下面的底座上设置加热装置，转筒上方设有与衬底位置对应的喷嘴，喷嘴通过管路与雾化装置连接，转筒上设置衬底的一端及喷嘴均设在由平台、围壁和上盖构成的反应室内，使制备薄膜的过程均在反应室内完成。该设备通过转筒上的衬底与上方的喷嘴及下面的加热装置配合，形成甩胶喷雾热分解的方式，当喷嘴将雾化装置雾化后的液体薄膜材料喷出到转筒上的衬底上形成薄膜时，加热装置可以将形成后的薄膜即刻加热去除薄膜中的溶剂。由于转动装置设在转筒的外侧，不会受到加热装置发热的影响。该设备结构简单，可以方便、快速的制备薄膜。

为便于理解，下面结合附图及具体实施例进行详细说明。

实施例一

如图2所示，本实施例提供了一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备，可以以甩胶喷雾热分解的方式制备薄膜，该设备具体包括：