[发明专利]面状电感耦合结构

权利要求书

1.一种面状电感耦合结构，包括：

第一平面型电感，内埋于绝缘材料层中；以及

第二平面型电感，内埋于该绝缘材料层中，其中该第一平面型电感与该 第二平面型电感实质上有相同的高度，且对于一水平分布有一部分是第一耦 合重叠区域，且相互电性绝缘，

其中该第一平面型电感有一厚度，是由至少一导电层所组成；该第二平 面型电感有一厚度，是由至少一导电层所组成。

2.如权利要求1所述的面状电感耦合结构，其中该第一平面型电感与第 二平面型电感有实质上相等的厚度，分别由至少一导电层所组成。

3.如权利要求2所述的面状电感耦合结构，其中该第一平面型电感与第 二平面型电感的至少其一是由三个导电层所组成。

4.如权利要求1所述的面状电感耦合结构，还包括至少一第三平面型电 感，在该水平分布上与该第一平面型电感及该第二平面型电感的至少其一有 第二耦合重叠区域。

5.如权利要求4所述的面状电感耦合结构，该第三平面型电感与该第一 平面型电感实质上有相同的高度。

6.如权利要求1所述的面状电感耦合结构，其中该第一平面型电感与该 第二平面型电感的至少其一是平面螺旋型电感。

7.一种面状电感耦合结构，包括：

第一平面型电感，内埋于绝缘材料层中；以及

第二平面型电感，内埋于该绝缘材料层中，其中该第一平面型电感与第 二平面型电感，位于不相同高度，且在一水平方向有一部分是一耦合重叠区 域，且相互电性绝缘，

其中该第一平面型电感有一厚度，是由至少一导电层所组成；该第二平 面型电感有一厚度，是由至少一导电层所组成。

8.如权利要求7所述的面状电感耦合结构，其中该第一平面型电感与第 二平面型电感有实质上相等的厚度，分别由至少一导电层所组成。

9.如权利要求8所述的面状电感耦合结构，其中该第一平面型电感与第 二平面型电感的至少其一是由三个导电层所组成。

10.如权利要求7所述的面状电感耦合结构，还包括至少一第三平面型电 感，在该水平方向上与该第一平面型电感及该第二平面型电感的至少其一有 第二耦合重叠区域。

11.如权利要求10所述的面状电感耦合结构，该第三平面型电感与该第 一平面型电感是不同高度。

12.如权利要求7所述的面状电感耦合结构，其中该第一平面型电感与该 第二平面型电感的至少其一是平面螺旋型电感。

13.一种面状电感耦合结构，包括：

第一导电层，在一绝缘材料层内，其中该第一导电层包含第一区域与第 二区域，且该第一区域与该第二区域有非全部的重叠区域；

第二导电层，在该绝缘材料层内，且位于该第一导电层的该第一区域与 该第二区域上；

第三导电层，在该绝缘材料层内，且位于该第二导电层上，分别对应该 第一区域与该第二区域，与该第二导电层以及该第一导电层电性连接，构成 相互绝缘的第一平面型电感与第二平面型电感，

其中，通过该第一导电层、该第二导电层与该第三导电层三个导电层的 线路布局，允许该第一平面型电感与该第二平面型电感在输出端、输入端与 交叉区域处重叠；该第一平面型电感与该第二平面型电感达到相等总厚度的 结构。

14.如权利要求13所述的面状电感耦合结构，该第一导电层、该第二导 电层、该第三导电层与该绝缘材料层构成半导体结构层，形成于介电结构层 中。

15.如权利要求13所述的面状电感耦合结构，其中该第一导电层更至少 包含第三区域，与该第一区域以及该第二区域的至少其一重叠耦合。

16.如权利要求13所述的面状电感耦合结构，其中该第一平面型电感与 该第二平面型电感的至少其一是平面螺旋型电感。