[发明专利]用于半导体封装的印刷电路板的制造方法有效

专利信息
申请号: 200710306090.7 申请日: 2007-12-28
公开(公告)号: CN101290888A 公开(公告)日: 2008-10-22
发明(设计)人: 李亮制;金宏植;安东基;韩美贞;许卿进;林营奎 申请(专利权)人: 三星电机株式会社
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 章社杲;吴贵明
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 用于 半导体 封装 印刷 电路板 制造 方法
【说明书】:

相关申请交叉参考

本申请要求2007年4月18日提交的名为“用于半导体封装的 印刷电路板的制造方法”的韩国专利申请No.10-2007-0037892的权 益,其公开内容整体结合于此作为参考。

技术领域

一般而言,本发明涉及一种用于半导体封装的印刷电路板 (PCB)的制造方法。更具体地说,本发明涉及一种用于半导体封 装的PCB的制造方法,该方法使得在为了对用于半导体封装的PCB 进行表面处理而覆镀每个焊盘时的掩模(mask)工作减至最少。

背景技术

一般地,半导体封装是一种对由有源器件(例如,半导体芯片) 和无源器件(例如,电阻器、电容器等)组成的电子硬件系统的扩 展(proliferation)具有重大影响的技术,并且封装技术关系到电源、 信号连接、热辐射以及对外界的防护。

由于封装技术是为了满足包括电源、信号连接与热辐射的多方 面用途而发展起来的,而封装又是在暴露于周围环境的状态下来操 作的,因而使得产品的价格上升,从而不期望地,难以实现其商业 化。

随着电子产品的发展,对于半导体封装的国际需求正在增加, 具体地,封装(诸如用于笔记本PC、移动电话、移动数据传真设 备、磁盘驱动器等的CSP)的普及正在增长之中。

在用于半导体封装的PCB中,当单个基板设置有引线接合焊 盘和用于安装SMD(表面安装器件)的焊盘(诸如BGA)时,对 引线接合焊盘施加软金电镀工艺,此外,在BGA安装焊盘的情况 下,如果难以将用于电镀的导线拔出(withdraw),则施加无电镀 OSP或者化学镀(ENIG:化学镀镍浸金)工艺。

依赖于用于半导体封装的基板密度的增加,在需要满足包括引 线接合与SMD安装的两种或两种以上用途的情况下,例如,在需 要满足引线接合与表面安装技术(当无法将软金电镀的导线抽回 时)或者需要满足表面安装技术与ZIF连接器规范的情况下,通过 不同类型的覆镀工艺(包括电镀与化学镀)来完成表面处理。

为了进行上述不同类型的覆镀,实施使用干膜或可剥离油墨的 掩模工作。然而,在这种情况下,引起与掩模工作相关的许多问题, 包括对的掩模的设计局限性。

下面,参照图3A至3G,对根据传统技术的制造用于半导体封 装的印刷电路板的方法进行描述。

根据本技术领域中广为人知的方法,准备PCB 400,该PCB包 括树脂基板401、形成于该树脂基板上的引线接合焊盘402、405和 SMD安装焊盘403、404并具有预定的电路图案,在PCB 400的除 引线接合焊盘402、405和SMD安装焊盘403、404之外的部分上 形成阻焊剂层406(图3A)。

然后,在PCB的除SMD安装焊盘403、404之外的部分上施 加诸如干膜的第一抗镀剂(plating resist)407,从而将这些部分遮 掩(图3B),随后,通常进行化学镀和电镀工艺,从而在SMD安 装焊盘403、404上形成化学镀镍浸金(ENIG)层408、409(图3C)。 如在ENIG层408(图3C示出其实例)中,ENIG层具有包括化学 镀镍层408a与化学镀金层408b的双层形式。

去除第一抗镀剂407(图3D),并在PCB的除引线接合焊盘402、 405之外的部分上施加第二抗镀剂410,从而将这些部分遮掩(图 3E)。通过通常的软金电镀工艺,在引线接合焊盘402、405上形成 镍/金镀层411、412(图3F)。同样,如在该图所示的镍/金电镀层 412中,该镍/金电镀层由包括电镀镍层412a和电镀金层412b的双 层组成。最后,去除第二抗镀剂410,这样就完成了表面处理(图 3G)。

参照图4A至图4J,对根据另一传统技术的制造用于半导体封 装的印刷电路板的方法进行描述。

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