[实用新型]白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置无效
| 申请号： | 200720032044.8 | 申请日： | 2007-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN201050978Y | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张民芳;成武 | 申请（专利权）人： | 西安普瑞光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/30 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 | 代理人： | 李中群 |
| 地址： | 710065陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 白光 干涉 测量 样品 表面 形状 精细 分布 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置，其特征在于具有一个由白光光源(4)、透镜(3)和半反半透分光镜(11)组成的照明光源系统、一个由CCD相机(1)和透镜(2)组成的光学成像系统和一个由干涉显微物镜(I)和样品放置台(9)组成的垂直扫描系统，半反半透分光镜(11)以45°倾角设置在照明光源系统的光轴方向上，将光源照明光束分为下行反射光和上行或平行透射光两束光，光学成像系统的透镜(2)和CCD相机(1)同轴依次设置在其透射光的光轴方向上，干涉显微物镜(I)包括显微透镜(5)、半反半透参考镜(6)和分光镜(7)，它们依次同轴设置在半反半透分光镜(11)反射光轴的下方，样品放置台(9)设置在干涉显微物镜的下方。
2.根据权利要求1所述的白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置，其特征在于CCD相机(1)的信号输出端与一台配备了图像采集卡和相关图像采集软件的计算机(12)的信号输入端连接，干涉显微物镜(I)设置在一个由计算机(12)控制驱动做上下移动的闭环压电陶瓷驱动器(10)上。
3.根据权利要求1所述的白光干涉测量样品表面形状精细分布的装置，其特征在于样品放置台(9)为一个由计算机(12)控制驱动并可在二维平面内任意自动移动的电动式放置台。
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