[实用新型]一种晶舟操控装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种操控装置，尤其涉及一种用以搬运晶舟的操控装置。

背景技术

晶舟(cassette)作为晶片的载具，是半导体器件制造工艺中传输和承载晶片的关键器具。由于半导体工艺的特殊性，要求搬运晶舟的装置有高度的精确性及稳定性，以防止晶舟在搬运过程中脱落，导致其内部的晶片破损。

如图1所示，晶舟包括晶舟顶盖31’及晶舟主体32’。现有的晶舟操控装置包括操控盒1’及分别设置在操控盒1’两侧的机械手2’，所述机械手2’呈“<”状，包括上部的主动杆21’、及与该主动杆21’固定连接的夹持杆22’，主动杆21’在操控盒1’的控制下带动夹持杆22’工作。左右两侧的两个夹持杆22’共同作用，夹住晶舟顶盖31’。由于两夹持杆22’夹住晶舟顶盖31’的面积很小，其夹持的稳定性不足，容易在晶舟的搬运过程中出现晶舟掉落的现象，而使得晶舟内部的晶片破损。

机械手2’有两个工作状态：预备状态、夹紧状态。预备状态时(如图1)，机械手2’的夹持杆22’的末端端点221’到晶舟顶盖31’侧边的垂直距离为4mm。在该状态时，如果夹持杆22’碰到晶舟，则认为操控装置与晶舟的位置未对准，产生报警；否则，操控装置与晶舟被默认为已经对准。由于搬运需要很高的精确度，上述4mm的距离相对较大，有些时候晶舟操控装置的位置未与晶舟的位置对准，却没有报警发出，从而导致晶舟掉落。夹紧状态时(如图2)，机械手2’的夹持杆22’的末端端点221’到晶舟顶盖31’侧边的垂直距离为0.5mm。只要晶舟略微晃动，就可能脱离上述0.5mm距离的保护，从左右两机械手2’中脱落。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有高稳定性、高精确度的晶舟操控装置。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种晶舟操控装置，通过夹紧晶舟顶盖来搬运晶舟，其包括操控盒及分别设置在该操控盒两侧的两机械手，所述两机械手均呈“<”状，包括上部的主动杆、及与该主动杆固定连接的夹持杆，所述操控装置具有一预备状态和一夹紧状态，其中，所述夹持杆的末端向该操控盒的方向还伸出一支撑爪。

在上述的晶舟操控装置中，在预备状态时，所述支撑爪的末端端点到晶舟顶盖侧边的垂直距离小于4mm。

在上述的晶舟操控装置中，所述垂直距离介于1mm至3mm。

在上述的晶舟操控装置中，所述垂直距离为1.5mm。

在上述的晶舟操控装置中，在夹紧状态时，所述支撑爪的末端端点到晶舟顶盖侧边的垂直距离大于0.5mm。

在上述的晶舟操控装置中，所述垂直距离介于1mm至5mm。

在上述的晶舟操控装置中，所述垂直距离为2.5mm。

本实用新型提供的晶舟操控装置，在两个机械手的末端设置支撑爪，支撑爪在夹紧状态时几乎呈水平方向设置，紧紧扣住晶舟顶盖，晶舟顶盖被卡在夹持杆与支撑爪的交接处，从而增加了晶舟操控装置的稳定性，即使有晃动，晶舟也不会轻易脱落。另外，在预备状态时，本实用新型的晶舟操控装置中支撑爪的末端(即机械手距离晶舟最近的端点)到晶舟顶盖侧边的垂直距离较现有的距离有所减小，从而减小了晶舟与操控装置的相对可活动范围，这样可以更加精确地保证晶舟与晶舟操控装置的位置对准。

附图说明

本实用新型的晶舟操控装置由以下的实施例及附图给出。

图1为现有的晶舟操控装置预备状态的结构示意图；

图2为现有的晶舟操控装置夹紧状态的结构示意图；

图3为本实用新型的晶舟操控装置预备状态的结构示意图；

图4为本实用新型的晶舟操控装置夹紧状态的结构示意图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的晶舟操控装置作进一步的详细描述。

实施例一

请参阅图3，本实用新型揭示的一种晶舟操控装置，包括操控盒1及分别设置在操控盒两侧的两机械手2，所述机械手2均包括上部的主动杆21、与该主动杆21固定连接的夹持杆22、及由所述夹持杆22的末端向该操控装置的内侧伸出的支撑爪23。该操控装置用来搬运晶舟(如图所示，晶舟包括晶舟顶盖31及晶舟主体32)。