[实用新型]改进型软研磨垫无效
| 申请号： | 200720067978.5 | 申请日： | 2007-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN201049442Y | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 王怀锋;苏东风;党国锋;张智伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进型 研磨 | ||
【权利要求书】：
1.一种改进型软研磨垫，其表面具有大小相等、均匀分布的凸起的方格压纹，相邻方格压纹之间存在一定的间距，其特征在于：所述的软研磨垫上还开设有数个孔洞，且每两个孔洞之间间隔1～200个方格压纹。
2.如权利要求1所述的改进型软研磨垫，其特征在于：每两个孔洞之间间隔10～30个方格压纹。
3.如权利要求1所述的改进型软研磨垫，其特征在于：每个孔洞均开设在某一方格压纹内，且孔洞的大小小于该方格压纹的大小。
4.如权利要求3所述的改进型软研磨垫，其特征在于：每个孔洞的大小不小于1mm2。
5.如权利要求1所述的改进型软研磨垫，其特征在于：所述的软研磨垫上还开设有一窗口。
6.如权利要求5所述的改进型软研磨垫，其特征在于：所述的窗口是矩形的。
7.如权利要求6所述的改进型软研磨垫，其特征在于：所述窗口的边长介于1到100个方格压纹的宽度。
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