[实用新型]薄膜应力测量装置

权利要求书

1.一种薄膜应力测量装置，其特征在于该装置包括激光器(1)、供待测基片(2)设置的精密电动导轨(6)及其控制器(7)、光电位敏探测器(3)、A/D数据采集卡(4)和计算机(5)，所述的激光器(1)、精密电动导轨(6)、光电位敏探测器(3)和A/D数据采集卡(4)安装在一平台(8)上，所述的激光器(1)发出的光束照射到待测基片(2)表面，在待测基片(2)的反射光束方向是光电位敏探测器(3)，该光电位敏探测器(3)的输出端经所述的A/D数据采集卡(4)与所述的计算机(5)的输入端相连。

2.根据权利要求1所述的薄膜应力测量装置，其特征在于所述的激光器(1)为He-Ne激光器。

3.根据权利要求1所述的薄膜应力测量装置，其特征在于所述的A/D数据采集卡(4)具有双通道，一个用于光强信号通道，另一个用于位置信号通道。

4.根据权利要求1所述的薄膜应力测量装置，其特征在于所述的计算机(5)具有数据采集和处理程序。

5.根据权利要求1至4任一项所述的薄膜应力测量装置，其特征在于所述的平台为充气防震光学平台。