[实用新型]一种原料供给装置有效
| 申请号： | 200720070765.8 | 申请日： | 2007-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201049440Y | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/00 | 分类号： | B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 原料 供给 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种原料供给装置，用于给清洗装置提供原料，其特征在于：该装置包括一条提供化学品的管路和提供去离子水的管路，这两条管路共同连接到一条管路中以便将混合原料提供给清洗装置；该装置中还包括设置在所述两条管路上的数字流量器，用于测量流经对应管路的原料流量。
2.如权利要求1所述的一种原料供给装置，其特征在于：所述的两条管路均分别设有调节钮，用于调节对应管路的原料流量。
3.如权利要求1所述的一种原料供给装置，其特征在于：所述数字流量器连接一个显示屏，显示屏可以设置在原料供给装置外部，用于显示数字流量器测量的原料流量。
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