[实用新型]样品台有效
申请号: | 200720071239.3 | 申请日: | 2007-06-18 |
公开(公告)号: | CN201060150Y | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
发明(设计)人: | 陈强;黄勤;白莉莉;秦天;关业群 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N13/10 | 分类号: | G01N13/10;G01N33/48;G01N35/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品 | ||
1.一种样品台,其特征在于,包括上底座和下底座,其中下底座包括,配置在下底座上平面上的至少一个弹性活动组以及配置在下底座上平面上的至少一个离胶顶片,其中每一个弹性活动组至少包括一个弹性部件,而离胶顶片的高度至少高于弹性部件处于受压状态时的高度,并且低于弹性部件处于自然状态时的高度;其中上底座用于承载样品,受弹性活动组的支撑,并且具有至少一个与离胶顶片配套的开口,所述开口的位置与离胶顶片对应,且当上底座向下底座下压时使得离胶顶片从开口处伸出。
2.如权利要求1所述的样品台,其特征在于,所述弹性部件为弹簧。
3.如权利要求2所述的样品台,其特征在于,所述弹性活动组包括一个弹簧。
4.如权利要求2所述的样品台,其特征在于,所述弹性活动组包括一个弹簧和一个螺杆,其中螺杆固定于弹簧顶部。
5.如权利要求4所述的样品台,其特征在于,所述上底座具有与螺杆配套的开口,并且该开口用于螺杆与上底座的连接。
6.如权利要求5所述的样品台,其特征在于,所述螺杆与上底座为螺纹连接或插槽连接。
7.如权利要求2所述的样品台,其特征在于,所述弹性活动组包括一个弹簧和一个金属垫片,其中金属垫片固定于弹簧顶部。
8.如权利要求7所述的样品台,其特征在于,所述上底座与金属垫片呈固定连接。
9.如权利要求1至8任一项所述的样品台,其特征在于,所述下底座上配置4个弹性活动组。
10.如权利要求1至8任一项所述的样品台,其特征在于,所述上底座上配置2个与离胶顶片配套的开口。
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