[实用新型]化学机械研磨机台排放管有效
| 申请号： | 200720073532.3 | 申请日： | 2007-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN201105409Y | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 任国伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B29/00;B24B57/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 机台 排放 | ||
1.一种化学机械研磨机台排放管，包含主排放管、排液管及排气管；其特征在于：所述主排放管包含具有排放通路的内筒和连接于内筒且与内筒间具有空隙的外筒，所述空隙与所述排放通路连通；所述排液管及排气管分别连接于所述外筒。
2.根据权利要求1所述的化学机械研磨机台排放管，其特征在于：所述内筒还包括引入端和第一液输出端，所述内筒通过所述引入端与化学机械研磨机台相连，所述第一液输出端与所述空隙连通。
3.根据权利要求1或2所述的化学机械研磨机台排放管，其特征在于：所述外筒还包括连接端、第二液输出端和气输出端，所述外筒通过所述连接端与所述内筒相连，所述第二液输出端位于所述外筒的底部或所述外筒的侧壁的底部，所述第二液输出端与所述排液管相连；所述气输出端位于所述连接端和所述第二液输出端之间，所述气输出端与所述排气管相连。
4.根据权利要求1所述的化学机械研磨机台排放管，其特征在于：所述内筒上具有冷却装置。
5.根据权利要求1所述的化学机械研磨机台排放管，其特征在于：所述内筒与所述外筒间传热连接。
6.根据权利要求1所述的化学机械研磨机台排放管，其特征在于：所述外筒上具有冷却装置。
7.根据权利要求4或6所述的化学机械研磨机台排放管，其特征在于：所述冷却装置中以液氮作为冷却介质。
8.根据权利要求1所述的化学机械研磨机台排放管，其特征在于：所述排气管外具有加热装置。
9.根据权利要求8所述的化学机械研磨机台排放管，其特征在于：所述加热装置为利用电加热的加热器或利用有加热的加热器。
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