[实用新型]斐索干涉仪检测工作台无效

专利信息
申请号: 200720079907.7 申请日: 2007-06-12
公开(公告)号: CN201053919Y 公开(公告)日: 2008-04-30
发明(设计)人: 杨李茗;李瑞洁;石琦凯;刘夏来;张宁;于杰;巨光;段敏 申请(专利权)人: 成都精密光学工程研究中心
主分类号: G01M11/04 分类号: G01M11/04
代理公司: 成都市辅君专利代理有限公司 代理人: 夏杰军;杨海燕
地址: 610041四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 干涉仪 检测 工作台
【权利要求书】:

1.一种斐索干涉仪检测工作台,包括承载台(1)、工件支架(2)和检测底座(3),其特征在于,承载台(1)上设有导轨(1-2),工件支架(2)的底部设有滑动滚珠(2-7),检测底座(3)的一端设有插槽(3-1),承载台(1)与检测底座(3)连接处设有插头(1-5)。

2.根据权利要求1所述的斐索干涉仪检测工作台,其特征在于,所述的导轨(1-2)设在置于承载台(1)上面的导轨板(1-1)上,在承载台(1)的长度方向和宽度方向上均有两条,在承载台(1)的一端相交。

3.根据权利要求1所述的斐索干涉仪检测工作台,其特征在于,所述的承载台(1)两外侧边缘设有限位条(1-3)、(1-4)。

4.根据权利要求3所述的斐索干涉仪检测工作台,其特征在于,所述的限位条(1-4)上设有锁定旋钮(1-6)。

5.根据权利要求1所述的斐索干涉仪检测工作台,其特征在于,所述的工件支架(2)由底板(2-1)、顶板(2-2)、螺杆(2-3)及旋钮(2-4)组成。

6.根据权利要求5所述的斐索干涉仪检测工作台,其特征在于,所述的底板(2-1)的底部设有4个滚珠套(2-10),滑动滚珠(2-7)置于其中。

7.根据权利要求5所述的斐索干涉仪检测工作台,其特征在于,所述的顶板(2-2)上设有聚四氟乙烯夹紧块(2-5)。

8.根据权利要求5所述的斐索干涉仪检测工作台,其特征在于,所述的底板(2-1)上设有聚四氟乙烯垫板(2-6)。

9.根据权利要求8所述的斐索干涉仪检测工作台,其特征在于,所述的的垫板(2-6)上设有聚四氟乙烯夹紧块(2-5)。

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