[实用新型]坩埚传动装置有效
| 申请号： | 200720080859.3 | 申请日： | 2007-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN201102981Y | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张博;谢亮;刘伟锋;付成洪;薛尚清 | 申请（专利权）人： | 成都南光机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C16/448;F16J15/16;F16J15/43 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人： | 江晓萍 |
| 地址： | 610100四川省成都市经济技*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 传动 装置 | ||
【权利要求书】：
1、坩埚传动装置，其特征在于包括电机，与电机连接的减速器，第一端与减速器连接的主轴的第二端穿过真空室壁通过法兰盘(8)和连接件与坩埚水冷板连接，主轴中有与坩埚水冷板上的水道相通的进水管道和出水管道，位于主轴上的进出水座中有分别与主轴上的进、出水管道连通的进水口、出水口，位于真空室壁与进出水座间有通过连接件与真空室壁和进出水座连接的套装在主轴上的装有动密封或磁流体密封的密封传动定位组件。
2、如权利要求1所述的坩埚传动装置，其特征在于电机为步进电机或伺服电机，减速器壳体上装有水冷座连接支架，水冷座连接支架上装有电机光电开关，受光电开关控制的转盘装在主轴上随主轴转动。
3、如权利要求1或2所述的坩埚传动装置，其特征在于密封传动定位组件中有密封轴承座，动密封或磁流体密封装在密封轴承座中。
4、如权利要求1或2所述的坩埚传动装置，其特征在于法兰盘(8)为哈夫状，由两半哈夫体组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都南光机器有限公司，未经成都南光机器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200720080859.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：与遮阳伞/篷的柱状结构配合定位的装配件
- 下一篇：一种环保节能高效制糖燃硫炉
- 同类专利
- 专利分类
