[实用新型]坩埚传动装置

说明书

技术领域：

本实用新型与将动力传递到真空镀膜室中的坩埚上的坩埚传动装置有关。

背景技术：

通过传动装置将大气压下的动力传递到真空环境中，必须要对传动主轴密封，即是动态转动下的密封。目前采用的密封是普通动密封，也就是真空橡胶密封，或磁流体密封即是采用带磁性液体吸附到轴表面，达到密封效果。动密封成本低廉，但密封真空度相对低些，磁流体密封成本高价格昂贵，但密封真空度较高。已有的动密封、磁流体密封都分别具有各自的结构尺寸，所以给生产、管理带来麻烦，用户想要更换密封方式，是非常麻烦的。

另外已有的坩埚水冷板与主轴都是采用焊接，拆卸、清洗坩埚时必须拆掉电机，把主轴连同坩埚部分整体从真空室抽出或者拆掉整个传动机构才能进行，使用非常不方便。

实用新型内容：

本实用新型的目的是为了克服以上不足，提供一种动密封、磁流体密封可互换，质量稳定，以满足真空镀膜生产需求的坩埚传动装置。本实用新型的另一个目的是为了提供一种拆卸、维修、使用方便的坩埚传动装置。

本实用新型的目的是这样来实现的：

本实用新型坩埚传动装置，包括电机，与电机连接的减速器，第一端与减速器连接的主轴的第二端穿过真空室壁通过法兰盘8和连接件与坩埚水冷板连接，主轴中有与坩埚水冷板上的水道相通的进水管道和出水管道，位于主轴上的进出水座中有分别与主轴上的进、出水管道连通的进水口、出水口，位于真空室壁与进出水座间有通过连接件与真空室壁和进出水座连接的套装在主轴上的装有动密封或磁流体密封的密封传动定位组件。

上述的电机为步进电机或伺服电机，减速器壳体上装有水冷座连接支架，水冷座连接支架上装有电机光电开关，受光电开关控制的转盘装在主轴上随主轴转动，可准确控制坩埚传动角度。

上述的密封传动定位组件中有密封轴承座，动密封或磁流体密封装在密封轴承座中。

上述的法兰盘8为哈夫状，由两半哈夫体组成，所以坩埚部分可从真空室直接取下，传动部分也可从真空室外整体取出，更方便安装、拆卸、清洗和维修。

本实用新型工作时，材料放在坩埚穴位中，电机带动减速器将动力传递到主轴上，坩埚转动，打开真空室，电子靶将电子束轰击坩埚穴位中的材料，使材料达到高温、蒸发、镀到待镀膜工件上。

本实用新型传动装置中动密封、磁流体密封可互换，质量稳定，可满足真空镀膜的不同需求且拆卸、维修、使用方便。

附图说明：

图1为本实用新型结构示意图。

图2为动密封位置图。

图3为法兰盘结构示意图。

图4为图3的左视图。

图5为本实用新型另一结构示意图。

图6为图5的中坩埚上穴位位置图。

图7为磁流体密封结构示意图。

具体实施方式：

实施例1：

图1～图4给出了本实施例1图。参见图1、图2，步进电机1上连接有减速器2，主轴3第一端通过联轴器4与减速器输出轴连接。主轴中有轴向进水管道5和轴向出水管道6。主轴的第二端穿过真空室壁7进入真空室中并通过法兰盘8和螺钉与坩埚9底部的水冷板10连接，主轴上的进、出水管道与水冷板上的水道连通。法兰盘8的形状如图3、图4所示为哈夫状，是由两半哈夫体11组成。坩埚顶部有坩埚盖板12。减速器壳体上装有减速器法兰13，水冷座连接法兰14通过连接螺栓和螺母与减速器法兰连接而组成水冷座连接支架15。位于轴上的水冷座16通过螺栓固定在水冷座连接法兰上。水冷座16上有分别与主轴进、出水管道连通的进水口17，出水口18。密封传动定位组件19中的密封轴承座20的两端通过螺栓分别固定在水冷室和真空室壁上。在密封轴承座内装有如图2所示的动密封21，并用调整螺母22将其压紧。水冷座连接支架中的螺栓上装有步进电机光电开关23，受光电开关控制的转盘24装在主轴上。

实施例2：

图5～图7给出了本实施例2图。本实施例2基本与实施例1同。不同处是在密封轴承座内装有如图7所示的磁流体密封25，包括装在主轴上的随主轴转动的通环26，位于通环和密封轴承座间的对通环外壁有永久性吸附作用的磁性液体27。

上述实施例是对本实用新型的上述内容作进一步的说明，但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于上述实施例。凡基于上述内容所实现的技术均属于本实用新型的范围。