[实用新型]一种一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈

权利要求书

1、一种一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：在高频线圈(3)上部设有带斜面的高频线圈上面(9)，下部设有梯形的高频线圈下面(10)，在高频线圈(3)的中部设有三个内孔(8)；其冷却水道(4)环绕高频线圈(3)，并在高频线圈(3)斜开口(13)处的两侧与电流输送暨冷却水输送铜管(11)及另一根电流输送暨冷却水输送铜管(12)固定连接。

2、如权利要求1所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其高频线圈(3)下部设置的梯形高频线圈下面(10)可由多个阶梯组成。

3、如权利要求1所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其高频线圈(3)上部设置的高频线圈上面(9)可由外至内形成一个斜坡。

4、如权利要求1所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其冷却水道(4)可以直接在高频线圈(3)上打槽，然后埋入铜管再由金属钎焊固定。

5、如权利要求1所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其冷却水道(4)可以直接在高频线圈(3)上打槽，然后利用铜片覆盖并由金属钎焊固定。

6、如权利要求1所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其斜开口(13)直接惯通至三个内孔(8)的中间一个。

7、如权利要求1所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其三个内孔(8)为平行排列。

8、如权利要求1所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其高频线圈(3)中部设置的三个内孔(8)可设计为圆形内孔(14)、方形内孔(15)、长方形内孔(17)、三角形内孔(19)、多边形内孔(21)、不规则边形内孔(22)、菱形内孔(23)、梯形内孔(25)、长圆形内孔(27)及椭圆形内孔(28)。

9、如权利要求8所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其内孔(8)形状设计为带角时可以使用带角度的设计。

10、如权利要求8所述的一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈，其特征在于：其内孔(8)在设计为带角时同样可以使用内角倒圆。