[实用新型]一种一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈无效
申请号: | 200720089219.9 | 申请日: | 2007-01-19 |
公开(公告)号: | CN200999270Y | 公开(公告)日: | 2008-01-02 |
发明(设计)人: | 刘朝轩 | 申请(专利权)人: | 刘朝轩 |
主分类号: | C30B13/20 | 分类号: | C30B13/20;H05B6/42 |
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地址: | 471009河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 一次 可生产 三根硅芯 其它 晶体 材料 高频 线圈 | ||
技术领域:
本实用新型涉及高频线圈技术领域,尤其是一种一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈。
背景技术:
目前,在硅芯、单晶硅及其它材料晶体区熔方式生产的工艺过程中,大多使用的是一种单目高频线圈,其工作原理如下:工作时给高频线圈通入高频电流,产生磁力线对原料棒进行感应加热,使原料棒上端头形成熔化区,然后将仔晶插入熔化区,慢慢提升仔晶,熔化后的原料就会跟随仔晶上升,形成一个新的柱型晶体,这个新的柱型晶体便是硅芯或其它材料晶体的制成品。然而这种高频线圈的缺点是一次只能拉制一根硅芯或其它材料晶体,效率太低,造成人力及能源的大量浪费。虽然这种高频线圈也可以通过加大内孔,使其能一次拉制多根硅芯或其它晶体,但需要数倍地增加功率,会对能源造成更大浪费,因而这种方法是极不可取的。
发明内容:
本实用新型为了克服现有高频线圈的上述不足,经过本人多次实验、现提供一种一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈。该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈不仅可大大地提高工作效率,且具有加热均匀、节约能源、增加产量等优点。
为了实现上述发明的目的,本实用新型采用如下技术方案;
一种一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,在高频线圈上部设有带斜面的高频线圈上面,下部设有梯形的高频线圈下面,在高频线圈的中部设有三个内孔;其冷却水道环绕高频线圈,并在高频线圈斜开口处的两侧与电流输送暨冷却水输送铜管及另一根电流输送暨冷却水输送铜管固定连接。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其高频线圈下部设置的梯形高频线圈下面可由多个阶梯组成。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其高频线圈上部设置的高频线圈上面可由外至内形成一个斜坡。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其冷却水道可以直接在高频线圈上开槽,然后埋入铜管再由金属钎焊固定。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其冷却水道可以直接在高频线圈上开槽,然后利用铜片覆盖并由金属焊接缝隙固定。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其斜开口直接惯通至三个内孔的中间一个。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其三个内孔为平行排列。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其高频线圈中部设置的三个内孔可设计为圆形内孔、方形内孔、长方形内孔、三角形内孔、多边形内孔、不规则多边形内孔、菱形内孔、梯形内孔、长圆形内孔及椭圆形内孔。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其内孔形状设计为带角时可以使用带角度的设计。
该一次可生产三根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其内孔在设计为带角时同样可以使用内角倒圆的方法来实现。
由于采用上述技术方案,本实用新型具有如下优越性;
本实用新型由于采用三孔同时出料的高频线圈技术,一次可同时拉制三根硅芯或其它晶体材料,使用此高频线圈可大大提高生产效率,提高能量利用率,降低生产成本,增加产量、且具有加热均匀、大量节约能源、减少设备投资及人工综合成本可有效降低等优点,易于在多晶硅行业推广实施。
附图说明:
图1是高频线圈的平面结构示意图。
图2是图1的A-A视图。
图3是高频线圈的工作原理示意图。
图4是高频线圈的电流在高频线圈的工作流向原理示意图
图5是高频线圈的圆形内孔示意图。
图6是高频线圈的方形内孔示意图。
图7是高频线圈的方形内角倒圆内孔示意图。
图8是高频线圈的长方形内孔示意图。
图9是高频线圈的长方形内角倒圆内孔示意图。
图10是高频线圈的三角形内孔示意图。
图11是高频线圈的三角形内角倒圆内孔示意图。
图12是高频线圈的多边形内孔示意图。
图13是高频线圈的不规则边形内孔示意图。
图14是高频线圈的菱形内孔示意图。
图15是高频线圈的菱形内角倒圆内孔示意图。
图16是高频线圈的梯形内孔示意图。
图17是高频线圈的梯形内角倒圆内孔示意图。
图18是高频线圈的长圆形内孔示意图。
图19是高频线圈的椭圆形内孔示意图。
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