[实用新型]新型真空室门结构无效
申请号: | 200720103861.8 | 申请日: | 2007-03-16 |
公开(公告)号: | CN201010688Y | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
发明(设计)人: | 张迎春;刘洁雅;袁青春;李佳 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;E05D7/085 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张涛 |
地址: | 102600北京市大兴区大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 真空 结构 | ||
1.新型真空室门结构,包括门体和真空室门框,所述门体和门框的结合处设置有连续的密封件,其特征在于:所述门结构还包括一个或一组摆臂装置,所述门体和门框分别通过两个或两组旋转结构与所述摆臂装置相连接,所述两个或两组旋转结构具有相互平行的轴线。
2.如权利要求1所述的新型真空室门结构,其特征在于:所述摆臂装置两端分别通过所述旋转结构与门体和门框连接。
3.如权利要求2所述的多旋转轴真空室门结构,其特征在于:所述旋转结构为铰链结构。
4.如权利要求3所述的新型真空室门结构,其特征在于:所述摆臂装置为双摆臂结构,所述双摆臂两端分别通过铰链及其轴与门体和门框铰接。
5.如权利要求4所述的新型真空室门结构,其特征在于:所述与门体相连的轴端设置有控制该门体转动角度的定位板。
6.如权利要求2所述的新型真空室门结构,其特征在于:所述摆臂装置为连杆机构,所述连杆机构为双摆臂连杆机构。
7.如权利要求6所述的新型真空室门结构,其特征在于:所述连杆机构为三连杆或三连杆以上的多连杆机构。
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