[实用新型]新型真空室门结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空技术，特别是涉及一种新型的门体平移闭合的多旋转轴真空室门结构。

背景技术

目前，在真空生产工艺中，特别是真空镀膜生产中，真空室普遍采用普通的单轴旋转式门结构，即门体绕其一侧设置的门轴旋转与门框闭合。这种门结构虽然结构简单，但是，在真空技术中，由于门体需要具有良好的密封性能，这种单轴旋转式需要在其与门框连接处设置密封条，通过门体挤压密封条达到密封的效果。

由于真空镀膜生产中，工件频繁进出真空室，需要频繁开关真空室门，而这种单轴旋转门由于需要压紧并锁紧，缓慢且费时，严重影响了真空室的使用效率，造成目前的真空室生产效能低；另外，这种门结构由于靠近转轴一侧转动行程短，在闭合时，会先于远轴侧与门框接触，造成门两侧的密封压力不均匀，门体及门框的近轴侧所受负荷远大于远轴侧；同时，由于密封条大多采用弹性材料如橡胶等制成，经过频繁的挤压后，易于变形破损，因此，需要经常更换密封条，则会进一步造成生产效率的下降，并提高生产成本。

实用新型内容

针对现有技术中存在的缺陷和不足，本实用新型的目的在于提供一种新型的真空室用门结构。利用该门结构，可以实现快速启闭真空室门的同时，又保证该门结构具有良好的密封性能。

本实用新型的技术方案为：

多旋转轴真空室门结构，包括门体和门框，所述门体和门框的结合处设置有连续的密封件，其特征在于：所述门结构还包括一个或一组摆臂装置，所述门体和门框分别通过两个或两组旋转结构与所述摆臂装置相连接，所述两个或两组旋转结构具有相互平行的轴线。

所述摆臂装置两端分别通过所述旋转结构与门体和门框连接。

所述旋转结构为铰链结构。

所述摆臂装置为双摆臂结构，所述双摆臂两端分别通过铰链及其轴与门体和门框铰接。

所述与门体相连的轴端设置有控制该门体转动角度的定位板。

所述摆臂装置为连杆机构，所述连杆机构为双摆臂连杆机构。

所述连杆机构为三连杆或三连杆以上的多连杆机构。

本实用新型的技术效果在于：

本实用新型通过在门体和门框之间设置摆臂装置，摆臂装置与门体和门框分别通过具有相互平行轴线的旋转结构相连接，这样就可以实现门体随摆臂转动的同时，自身也可以绕摆臂转动，从而可以控制门体在启闭过程中随时调整状态(即门体角度)，实现在临近闭合时以与门框平面平行的方式闭合。

这样的闭合方式可以消除现有的单轴结构门闭合时密封件所受压力不均匀的缺陷，从而提高了密封件的使用寿命，相应的提高了生产效率和降低了生产成本。

另一方面，这种闭合方式，可以更好的利用真空室的负压环境对门体的影响，当门体平行与门框贴合时，门体两侧存在较大的压差，这种压差产生的压力与门体闭合的方向一致，增加了门体的闭合效果，可以省略目前单轴门结构中的锁紧装置，使得真空室启闭快捷自如，可以显著提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1所示的侧向视图；

图3为现有门结构的示意图；

图4为图3所示的侧向视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步说明。

现有真空室门结构(见图3)，通常是由一组铰链及轴将门2与真空室(相当于门框)相连接。一对上铰链15与门2固定连接，一对下铰链16与真空室相固定。一门轴穿过上铰链15、下铰链16将门2与真空室相连接。门2围绕该门轴中心旋转，从而实现开、关门的功能。这种结构在门2开启和快要关闭时，靠近门轴处的密封圈总是先受到挤压。长期使用，门2会因受力不均而变形，还会大大缩短密封圈的使用寿命，并导致真空密封性能的破坏。

另外，门2通常装有把手13和锁紧机构14，便于操作门的开关。当门关上以后，通过锁紧机构14将门2锁紧。这种机构不但结构复杂，而且操作过时间长，无法适用快节拍的生产需要。

如图1所示结构示意图为本实用新型的一种优选实施例，该实施例为无锁紧、无把手的双旋转轴真空室门结构。

本实施例利用双轴机构，短铰链座3固定在门2上，短铰链座3中设置有短门轴4，长铰链座10固定在连接板9上，长铰链座10中设置有长门轴8，连接板9固定在连接法兰1上，连接法兰1与真空室相连，悬横梁6通过短门轴4、长门轴8将门2与连接法兰1连接在一起。