[实用新型]载盘的改良结构

权利要求书

1.一种载盘的改良结构，其特征在于，包括：

一上盖，具有一内凹区与一螺旋状凸肋组，该螺旋状凸肋组设置于该内凹区中；

一下盖，具有一顶面与一侧面，该顶面连接于该螺旋状凸肋组的多个凸肋顶部，而该侧面连接于该内凹区的一侧壁；

一冷却流道，设置于该内凹区、该螺旋状凸肋组、与该顶面所围成的封闭空间中；以及

多个流道出入口，连接于该冷却流道，而其中一冷却流体经由所述的流道出入口进出该冷却流道，以形成一连续冷却流。

2.如权利要求1所述的载盘改良结构，其特征在于，该下盖为铝合金或不锈钢所制成。

3.如权利要求1所述的载盘改良结构，其特征在于，该上盖为铝合金或不锈钢所制成。

4.如权利要求1所述的载盘改良结构，其特征在于，该顶面热连接于所述的凸肋顶部。

5.如权利要求1所述的载盘改良结构，其特征在于，该侧面具有一密封层，而该密封层设置于该侧面与该内凹区之间。

6.如权利要求1所述的载盘改良结构，其特征在于，该冷却流体为去离子水或具冷却效果的流体。

7.如权利要求1所述的载盘改良结构，其特征在于，所述的流道出入口连接于该下盖。

8.如权利要求1所述的载盘改良结构，其特征在于，该载盘上承载一晶圆，而该冷却流体冷却该晶圆。

9.如权利要求1所述的载盘改良结构，其特征在于，该螺旋状凸肋组具有螺旋状的几何外形。