[实用新型]底射式激光修补装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板的修补设备，特别是涉及一种底射式激光修补装置。

背景技术

液晶基板在电极图型化(electrode patterning)制程中，常因为公差或污染产生缺陷，造成最终产品的画面在缺陷点处恒亮或恒暗。所以要透过检测设备寻找出每一个缺陷点的座标位置，再利用激光修补装置将各缺陷点一一修补。

如图1所示，现有一种底射式液晶激光修补装置，包含有一个基座1、一个设置在该基座1上的承台2、一个设置在该承台2其中一侧的X轴移载夹具3、一个设置在该承台2下方的Y轴移载夹具4及一个架设在该Y轴移载夹具4上的激光发射器5。该承台2用以承载一个液晶基板6，且由多数支长形板体201共同界定出一个承接面202，所述板体201均设有多数个气孔203，且该承台2借由所述气孔203喷气以让液晶基板6气浮在该承接面202上方，且该承接面202中段具有一道沿Y轴向延伸的缝隙204。该X轴移载夹具3具有一个沿一个X轴向设于该承台1侧边上的线性滑轨301、一支沿该线性滑轨301位移的长臂302及二支设于该长臂302两侧的夹臂303，所述夹臂303用以夹持液晶基板6。该Y轴移载夹具4具有一个固设在该基座1上且沿一垂直于该X轴向的Y轴向位移的线性滑轨401。该激光发射器5是正对于该缝隙204。

借此，利用气孔203喷气以让液晶基板6气浮在该承接面202上方，以及利用该X轴移载夹具3夹持液晶基板6于X轴向产生位移，配合该激光发射器5由下朝上发射，对液晶基板6的Y轴向进行修补工作。

虽然，这种液晶激光修补装置可达到预期的修补目的，但是实际应用时仍然有下列缺失：

一、前段检测是在该液晶基板6固定状态取得缺陷点座标，但是修补工作却必须使该液晶基板6沿该X轴向移动，只要稍有误差，就无法准确重现缺陷点的座标，例如因为制造组配的公差或使用一段后产生摩耗，导致X轴移载夹具3的长臂302相对于该承台2并非平直，或是夹臂303相对于该长臂302产生歪斜时，则利用X轴移载夹具3搬移该液晶基板6，并不能与该缝隙204完全正交，就无法达到准确修补缺陷点的目的。

二、该液晶基板6是利用气孔203喷气以气浮在该承接面202上方，并配合该X轴移载夹具3搬运产生移动，所以液晶基板6是在气浮状态下产生位移，位移且停止后仍会产生微震动，若立刻进行修补，会造成该激光发射器5对焦不准、激光修补不准确的缺失。

三、为了克服该液晶基板6在气浮位移后需要稳住定位，在由动态转成静态时需要一定时间，则也会产生修补效率低的缺失。

实用新型内容

本实用新型的目的是在提供一种准确重现缺陷点座标且激光修补准确、效率高的底射式激光修补装置。本实用新型的底射式激光修补装置，是适用于对一个基板的一个修补面进行激光修补，并包含一个机架、一个设置在该机架的夹持单元、一个设置在该机架的支撑单元、一个设置在该机架的移载单元及一个安装在该移载单元上且位在该基板下方的激光发射单元。该夹持单元具有一个定出一条基准线的定位组、二个对应该定位组的夹制组及一个与该定位组相对设置的推抵组，该基准线是沿一个第一方向延伸且供该基板其中一侧边抵靠定位，所述夹制组各具有多数个间隔设置的夹制部，所述夹制部是沿该第一方向对该基板另外两个相对侧边夹制定位，该推抵组具有一个与该基准线配合以使基板沿一个垂直于该第一方向的第二方向定位的推抵件。该支撑单元是由多数个支撑件共同界定出一个沿水平设置的承托面，该承托面支撑该基板的修补面，所述支撑件沿垂直方向相对于基板产生升降，以及沿水平方向相对于该机架产生位移，以相对于该基板改变支撑位置。该移载单元具有一个沿该第一方向延伸的第一线性滑轨组、一个设置在该第一线性滑轨组上的滑板、一个组设在该滑板且沿第二方向延伸的第二线性滑轨组、一个设置在该第二线性滑轨组上的基座、一个驱动该滑板沿该第一方向相对于机架移动的第一驱动组及一个驱动该基座沿该第二方向相对于该滑板移动的第二驱动组。该激光发射单元受该移载单元运载沿该第一方向及第二方向相对于该基板产生位移，并具有一个对应该修补面的激光发射部。

本实用新型的有益效果在于：利用该夹持单元将基板沿水平方向夹制定位，利用该支撑单元的承托面使基板获得稳固定位，再配合该移载单元运载该激光发射单元依缺陷点座标进行修补，达到准确重现缺陷点及准确修补的目的。

附图说明

图1是现有一种底射式液晶激光修补装置的俯视组合示意图；

图2是本实用新型第一个较佳实施例的立体组合图；

图3是本实用新型上述较佳实施例的俯视组合示意图；

图4是沿图3中的直线IV-IV所取的剖视示意图；