[实用新型]2-3英寸砷化镓定向划线尺无效
申请号: | 200720140729.4 | 申请日: | 2007-04-03 |
公开(公告)号: | CN201048126Y | 公开(公告)日: | 2008-04-16 |
发明(设计)人: | 佟丽英;杨春明;张海林;史继祥;王聪 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 信息产业部电子专利中心 | 代理人: | 周奇 |
地址: | 300220天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 英寸 砷化镓 定向 划线 | ||
1.一种2-3英寸砷化镓定向划线尺,由透明材料制成,其特征在于,在所述透明材料平板上刻有同心的Φ2英寸圆弧线和Φ3英寸圆弧线,该两条圆弧线分别用于对准2英寸或3英寸砷化镓单晶锭的外圆;在两条同心圆弧线的一条直径上刻有一条槽,并在该直径两边位置两端各刻有与其平行的条形槽,这两组三条槽一起组成主参考面划线槽,该主参考面划线槽用于确定砷化镓单晶锭的镓面;在与主参考面划线槽垂直的直径线上刻有另一条槽,为次参考面划线槽,该次参考面划线槽用于确定砷化镓单晶锭的砷面;在次参考面划线槽分割的其中一个半圆内,划有与其平行的一组平行线,该组平行线用于保证砷化镓样片上的信息移植到砷化镓单晶锭上的准确性。
2.如权利要求1所述的定向划线尺,其特征在于,所述主参考面划线槽中与直径平行的条形槽长度为1.18英寸。
3.如权利要求1所述的定向划线尺,其特征在于,所述主参考面划线槽中与直径平行的条形槽位于直径两边0.12英寸位置。
4.如权利要求1所述的定向划线尺,其特征在于,所述一组平行线为11条。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的定向划线尺,其特征在于,从所述划有一组平行线的半圆的一角延伸出一个手柄,该手柄作为划线尺工作中的扶持部位。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造