[实用新型]太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具无效
| 申请号： | 200720141143.X | 申请日： | 2007-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN201017862Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 陈奕锜;李建鸣;范宏镇;卢平 | 申请（专利权）人： | 太阳光电能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭晓东 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 承载 转换 | ||
1.一种太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，用以将晶圆置入在底部具有第一开孔及第二开孔的晶圆承载盒，其特征在于，包括：
承载平台，用以承载所述晶圆承载盒，且具有对应所述第一开孔的作用开孔、及对应所述第二开孔的定位开孔；
升降单元，设于所述承载平台下方，能相对所述承载平台垂直升降；
作动凸部，设于所述升降单元且对应所述作用开孔，并随所述升降单元的上升而凸出于所述作用开孔以供承载所述晶圆，并通过所述升降单元下降而将所述晶圆置入所述晶圆承载盒中；以及
定位凸部，设于所述升降单元且对应所述定位开孔，并随着所述升降单元的上升而凸出于所述定位开孔，以抵靠定位所述晶圆的侧缘。
2.根据权利要求1所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，所述升降单元为升降平台。
3.根据权利要求2所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，所述升降平台由升降作动机构控制升降。
4.根据权利要求3所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，所述升降作动机构包括气压缸。
5.根据权利要求1所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，所述作动凸部为杆体及管体的其中之一。
6.根据权利要求1所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，所述作动凸部的数量是配合所述第一开孔及所述作用开孔的数量而有四根。
7.根据权利要求1所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，所述定位凸部为杆体及管体的其中之一。
8.根据权利要求1所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，所述定位凸部的数量是配合所述第二开孔及所述定位开孔的数量而有两根，而所述两个定位凸部分别抵靠于所述晶圆的两相对侧。
9.根据权利要求1所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，还包括对应所述承载平台的一侧设有供抵靠定位所述晶圆一侧的定位块。
10.根据权利要求1所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，还包括控制所述升降单元升降的开关。
11.根据权利要求1所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具，其特征在于，所述承载平台的两侧设有与所述承载平台顶面形成有滑槽的条体，所述晶圆承载盒底部的两侧设有对应所述滑槽的水平凸缘。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
