[实用新型]太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具无效
申请号: | 200720141143.X | 申请日: | 2007-03-27 |
公开(公告)号: | CN201017862Y | 公开(公告)日: | 2008-02-06 |
发明(设计)人: | 陈奕锜;李建鸣;范宏镇;卢平 | 申请(专利权)人: | 太阳光电能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭晓东 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 承载 转换 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种治具,更详细地说,涉及一种太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具。
背景技术
在石油日益短缺的21世纪,寻找替代能源仍成为人类的重大课题,而孕育大地万物的太阳光由于具有取之不尽但不易储存的特点,因此近年来,相关领域的科学家均致力于研究如何有效地将太阳能储存并转换成为电能。
太阳能电池为目前最为有效储存太阳能的装置,主要是将以硅为原料的晶圆加工成太阳能芯片,然后将太阳能芯片依不同用途,与相关零部件组成太阳能发电模块。晶圆在制作完毕后,需存放于晶圆承载盒(Blister)中,以接续制成芯片或运送。请参阅图1,晶圆承载盒1为具有容置凹部10以供容置晶圆5,且所述晶圆承载盒1底部设有多个第一开孔11及第二开孔12,其中,所述第一开孔11可供导引气流流入所述容置凹部10中,当所述容置凹部10堆叠有多片晶圆5时,可通过气流而使各片晶圆5间的摩擦力降低,以避免在夹取单片晶圆5进行加工时,其它晶圆5因黏滞效应而被吸附。所述第二开孔12则可供定位柱或其它定位结构伸入而抵接于晶圆的侧缘,借此与所述定位凹部10的边缘共同定义晶圆5的水平定位;同时,通过定位柱或其它定位结构伸入所述第二开孔12并提供定位所述晶圆承载盒1的作用,以令所述晶圆承载盒1得以定位于晶圆加工设备中。
所述晶圆承载盒1在对应所述容置凹部10的对角位置上还设有操作凹部13,所述操作凹部13的作用在于使操作人员用双手各持所述晶圆5的一角而置放于所述容置凹部10所预留的空间内,然而所述操作凹部13扣除被晶圆5占用的空间后所剩空间有限,因此造成晶圆5置入的困难。通常的做法为,操作人员将晶圆5倾斜一边先置入晶圆承载盒1的容置凹部10中,另一边则是松手令其自然落下,然而不论落下的力量如何小,对于厚度仅约0.2厘米的晶圆5来说,仍旧不可避免因落下产生的撞击而造成破片的现象,这些破片问题不仅造成高度的成本耗费,对于太阳能电池的整体工艺而言,更无疑是影响合格率的主要原因之一。
另外,由于上述操作晶圆5置入容置凹部10的困难程度,再加上操作人员的人为操作熟练度或情绪等因素,时有在置放晶圆5的过程中发生松手时间点不准确而摔落晶圆5的情况,更提高了晶圆5的破片机率。
再者,由于所述操作凹部13的窄小,因此即使已堆叠有一定数量的晶圆5,仍有可能在持续堆叠晶圆5的过程中发生操作人员因一时的不平衡而使手撞击到操作凹部13的内壁,进而挤压到晶圆5而造成晶圆5的损毁。
因此,如何改善以上种种缺点,为当今亟待思考的课题。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本实用新型的一个目的在于提供一种可方便将太阳能电池的晶圆堆叠置入晶圆承载盒的太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具。
本实用新型的又一个目的为提供一种可安全地将太阳能电池的晶圆堆叠置放于晶圆承载盒的太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具。
为达到上述的目的,本实用新型提供一种太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具,用以将晶圆置入于底部具有第一开孔及第二开孔的晶圆承载盒,其包括:承载平台,为供承载所述晶圆承载盒,且具有对应所述第一开孔的作用开孔及对应所述第二开孔的定位开孔;升降单元,设于所述承载平台下方而可相对所述承载平台垂直升降;作动凸部,设于所述升降单元且对应所述作用开孔,其可随着所述升降单元的上升而凸出于所述作用开孔以供承载所述晶圆,且随所述升降单元的下降而将所述晶圆置入所述晶圆承载盒中;以及定位凸部,设于所述升降单元且对应所述定位开孔,并随着所述升降单元的上升而凸出于所述定位开孔,以抵靠定位所述晶圆的侧缘。
根据所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具,所述升降单元为升降平台。
根据所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具,所述升降平台由升降作动机构控制升降。
根据所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具,所述升降作动机构包括气压缸。
根据所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具,所述作动凸部为杆体及管体的其中之一。
根据所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具,所述作动凸部的数量是配合所述第一开孔及所述作用开孔的数量而有四根。
根据所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具,所述定位凸部为杆体及管体的其中之一。
根据所述太阳能电池晶圆承载盒的晶圆转换治具,所述定位凸部的数量是配合所述第二开孔及所述定位开孔的数量而有两根,而所述两个定位凸部分别抵靠于所述晶圆的两相对侧。
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