[实用新型]基片托盘的抬料装置

权利要求书

1.一种基片托盘的抬料装置，其特征在于，包含：

多个链条，垂设于载放有基片的托盘四周，至少二链条组成一组链条，各组链条各自接受至少一第一驱动器驱动而进行纵向往复位移，且各组链条各自接受至少一第二驱动器驱动而进行横向往复位移，同时链条的多个链目上各自设一横向沟部；

多个托件，各自具有一用以托持托盘端边的承部，且托件上设有相通的一横向容置孔及一行程孔，容置孔内穿设一杆件，杆件上设有一用以植入链目沟部内的裸露于行程孔外的凸柱；及

多个第三驱动器，各自滑设于各链条旁侧，而邻近各杆件裸露于容置孔的一尾端，且第三驱动器具有一能横向挺伸及复归的推杆，推杆与托件的容置孔匹配，各第三驱动器各自接受一第四驱动器驱动而进行纵向往复位移。

2.如权利要求1所述的抬料装置，其特征在于，其中链目上具有一槽部、一凸部及一通孔，一链目槽部内置放另一链目的凸部，凸部植入又一链目的槽部，且各链目的凸部上具有一行程孔，各链目的通孔贯穿槽部而与植入槽部内的链目的行程孔相通，同时各链目的通孔与植入槽部内的链目的行程孔之间穿设一插销。

3.如权利要求1所述的抬料装置，其特征在于，其中杆件尾端具有一勾部，且链条旁侧设有至少一第五驱动器，具有一能进行横向收缩及复归的板件。