[实用新型]一种真空对盒设备中的静电吸附板及真空对盒设备无效
| 申请号： | 200720149139.8 | 申请日： | 2007-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN201072478Y | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 朱海波 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 设备 中的 静电 吸附 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空对盒设备中的静电吸附板，包括：金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护层，其特征在于：所述金属基台的另一面上形成有磁力层。
2.根据权利要求1所述的真空对盒设备中的静电吸附板，其特征在于：所述金属基台的材料为Al。
3.根据权利要求1所述的真空对盒设备中的静电吸附板，其特征在于：所述磁力层的材料为Fe3O4。
4.一种真空对盒设备，其特征在于，包括：上基台和相对设置的下基台，设置在上基台和下基台相对面上的多个静电吸附板，所述上基台上的静电吸附板包括：金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护层及在金属基台的另一面上形成有磁力层。
5.根据权利要求4所述的真空对盒设备，其特征在于：所述金属基台的材料为Al。
6.根据权利要求4所述的真空对盒设备，其特征在于：所述磁力层的材料为Fe3O4。
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