[实用新型]一种真空对盒设备中的静电吸附板及真空对盒设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器面板制造过程中的设备，尤其涉及真空对盒(Vacuum Aligner)设备中的静电吸附板(ESC)和真空对盒设备。

背景技术

近年来，随着数字化电视的普及，传统的CRT显示由于其数字化困难，以及体积大，重量大，有辐射等缺点，已经出现了被新一代显示技术替代的趋势，代表性的新显示技术有PDP，OLED，LCD等。其中，液晶显示器(LCD)由于具有重量轻，厚度薄，无辐射，耗电量小，显示分辨率高等优点，已开始大量普及，开始成为主流产品。

在LCD面板制造中，尤其是在滴注式(ODF)工艺过程中，由于其工艺过程要求在真空环境下将两块玻璃基板贴合，不能采用传统的真空吸附方式，因此采用库仑力将上下两块玻璃基本进行吸附。真空对盒设备就是这样的设备。真空对盒设备主要结构是：分为上下两个基台(Stage)，将16个形状大小完全一样的静电吸附板安装在上下基台上。图1所示为现有技术中的静电吸附板截面示意图，如图1所示，该静电吸附板6包括金属基台5(Al基台)、以及依次形成在金属基台5上的基材层3、电极层2和保护层1等构成。

由于在长期使用过成中静电吸附板的电极层会受到破坏，导致静电吸附板不能使用需要进行更换。但是其更换作业麻烦。尤其在更换上基台的静电吸附板时，需要2～3人共同作业，两个人托住静电吸附板，另一个人用螺丝进行固定。由于作业空间有限，两个人只能用一只手分别托住静电吸附板两侧，将其对准对位销后固定在基台上保持不动，另一个人仰卧在下基台上，用螺丝再将其固定。固定一个静电吸附板需要17个螺丝。固定一个静电吸附板需要1个小时左右，整个作业过程很不利于作业者操作，工作效率很低。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种真空对盒设备中的静电吸附板及真空对盒设备，通过改变静电吸附板中的金属基台座的手段，达到对更换静电吸附板简易的效果，从而解决更换麻烦的问题，提高工作效率。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种真空对盒设备中的静电吸附板，包括：金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护层，其中所述金属基台的另一面上形成有磁力层。

上述方案中，所述金属基台的材料为Al等金属材料。所述磁力层的材料为Fe₃O₄等磁性材料。

为了实现上述目的，本实用新型同时提供一种真空对盒设备，包括：上基台和相对设置的下基台，设置在上基台和下基台相对面上的多个静电吸附板，所述上基台和/或下基台上的静电吸附板包括：金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护层及在金属基台的另一面上形成有磁力层。

上述方案中，所述金属基台的材料为Al等金属材料。所述磁力层的材料为Fe₃O₄等磁性材料。

相对于现有技术中金属基台是由铝(Al)制作而成，再在金属基台上附着基材层，电极层和保护层，安装时，对准基台上的对位销后，分别由两个人托住静电吸附板，再由一个人仰卧在下基台上用螺丝将其固定住的繁琐过程；本实用新型中金属基台座是由铝(Al)+磁铁(Fe₃O₄)合成，减小铝层的厚度，在铝层的下面附着磁力层，磁力层加铝层的厚度等同于原有金属基层的厚度，然后再铝层上附着基材层，电极层和保护层。安装时，由于上基台是钢铁结构，这样对准好基台上的对位销后，静电吸附板便在磁铁的作用下吸附在上基台上，而不再需要人来托着。这样只需要一个人仰卧在下基台上用螺丝将其固定住即可，即更换静电吸附板时只需要一个人即可完成整个作业，而且作业时间也将缩短，降低了作业难度，提高了工作效率。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步更为详细地说明。

附图说明

图1是现有技术静电吸附板的断面示意图；

图2是本实用新型静电吸附板的断面示意图；

图3是本实用新型静电吸附板安装在基台上示意图一；

图4是本实用新型静电吸附板安装在基台上示意图二。

图中标记：1、保护层；2、电极层；3、基材层；4、磁力层；5、金属基台；6、静电吸附板；7、上基台；8、下基台；9、操作人员；10、定位装置。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步更为详细地说明。