[实用新型]晶圆背面打标机的晶圆进出闸门装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及打标机中的晶圆进出闸门装置，更准确地说涉及一种当机械手送晶圆进入晶圆打标平台时能自动打开、机械手退出后能自动关闭并具有安全电磁锁进行控制的全自动晶圆背面打标机的晶圆进出闸门装置。

背景技术

打标机广泛应用于IC行业的集成电路的表面打标。根据使用要求的不同，IC行业使用的集成电路板有料条、芯片和晶圆三种形式。料条是由若干芯片组合而成的板料，对料条上的每一芯片打标时，是直接通过输送料条实现自动打标的。芯片是尺寸较小的块粒状料，是放在轨道托盘中，通过对轨道托盘的输送实现芯片自动打标的。晶圆是直接在其上制作了多块芯片的一块薄薄的圆片，直径约为200～300mm，需要在整块晶圆薄片上对其上的每一块芯片的背面进行打标。

晶圆在接受打标时，其打标空间应当是封闭的，打标结束后，应当有一个进出门让晶圆进出。通常的晶圆打标机的晶圆输送部分和打标部分是分开的，在两区之间有一隔板，隔板中央做有一个闸门。由于闸门设置在机器的中央，工作时闸门的开闭要完全实现自动控制。目前闸门开闭有用步进电机与滚珠丝杆传动来实现的，但这种开闭闸门的方法动作速度慢，闸门关闭后没有安全锁紧装置，不易实现打标过程的安全性。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有的进出口闸门存在的开闭速度慢、以及安全性差的不足，提供一种采用气动原理控制闸门开闭的新型打标机晶圆进出闸门装置。

本实用新型的技术方案为：一种晶圆背面打标机的晶圆进出闸门装置，安装在晶圆背面打标机的前后区隔板上，所述的晶圆进出闸门装置包括安装在隔板闸门开口两侧上的气动滑台，气动滑台与闸门相连接；隔板上还设置有一个用于控制滑台开闭的电磁锁定装置；隔板闸门开口处设置有闸门开口位置传感器；闸门开口位置传感器和电磁锁定装置均与晶圆背面打标机的PC装置电连接。

优选的是，所述的气动滑台由一个固定滑槽和一个活动滑轨构成，固定滑槽固装在隔板上，活动滑轨在固定滑槽上上下滑动。

优选的是，电磁锁定装置包括一个安全电磁锁和一个安全电磁锁钥匙，安全电磁锁钥匙的顶端设置有一个连接板。

本实用新型的有益效果为：首先，由于采用气动滑台来控制闸门的开闭，因此闸门的开启速度大大加快，提高了生产效率；其次，利用传感器对闸门的开启程度进行监控，机械手的进出精度大大提高；另外，通过电磁锁定装置可有效地保证打标过程中的安全性。

附图说明

图1为本实用新型具体实施例的结构示意图；

图2为本实用新型具体实施例的分解结构示意图。

具体实施方式

如图1至图2所示的本实用新型的具体实施例，一种晶圆背面打标机的晶圆进出闸门装置，安装在晶圆背面打标机的前后区隔板13上，所述的晶圆进出闸门装置包括分别安装在隔板闸门开口14两侧上的气动滑台，气动滑台与闸门1通过阀门连接块5相连接；隔板13上还设置有一个用于控制滑台开闭的电磁锁定装置，电磁锁定装置的电磁锁钥匙通过连接板6安装在两个气动滑台之间；隔板闸门开口14处设置有闸门开口位置传感器7；闸门开口位置传感器7和电磁锁定装置均与晶圆背面打标机的PC装置电连接。所述的气动滑台由一个固定滑槽8和一个活动滑轨9构成，固定滑槽8固装在隔板13上，活动滑轨9在固定滑槽8上上下滑动，气动滑台的活动滑轨9相当一个滑动气缸，滑动气缸的活塞杆就固装在气动滑台固定滑槽8的固装板上。电磁锁定装置包括一个安全电磁锁12和一个安全电磁锁钥匙10，安全电磁锁钥匙10的顶端设置有一个钥匙连接板11。隔板闸门开口处还依次设置有后闸门座2、前闸门座3以及外罩4。

工作时，先调整好传感器的位置与闸门开启位置的对应关系，当机械手要从晶圆方向检测装置搬运晶圆从闸门送到晶圆打标平台上去时，PC机会发出命令，让晶圆进出闸门装置的安全电磁锁12放开安全电磁锁钥匙10，之后气动滑台的气缸获得气源动力，带动闸门上升，当上升到设定的位移传感器位置时，位移传感器发出闸门到位信息，机械手根据闸门已到位的信息，将晶圆从闸门送入晶圆打标平台，当机械手从闸门退出后，PC机会发出命令，让气动滑台向下移动，带动闸门向下将闸门关闭，与此同时，安全电磁锁钥匙10随之向下移动，将其插入安全电磁锁12之中，保证晶圆在晶圆打标平台上加工期间，闸门不会因任何原因而开启，从而保证晶圆打标的绝对安全。当打标完成后，PC机向电磁锁发出放开电磁锁钥匙命令，气动滑台才能实现向上开启闸门的动作。