[实用新型]晶圆背面打标机的打标检测装置

权利要求书

1.一种晶圆背面打标机的打标检测装置，其特征在于：包括一个标前检测装置和一个标后检测装置，标前检测装置和标后检测装置上均设置有一个摄像头，标前检测装置位于打标平台的上方，摄像头向下对准晶圆的正面，标后检测装置位于打标平台的下方，摄像头向上对准晶圆的背面。

2.如权利要求1所述的晶圆背面打标机的打标检测装置，其特征在于：所述的标前检测装置包括固接在打标机机架上的高刚性横梁(6)、安装在高刚性横梁(6)上的吊装板(5)、与吊装板(5)相连接的调整板(4)、安装在调整板(4)上的摄像机安装板(3)、以及安装在摄像机安装板(3)上的摄像机(2)和外罩(1)。

3.如权利要求1所述的晶圆背面打标机的打标检测装置，其特征在于：所述的标后检测装置包括安装在打标机机架上的吊装板(4’)、与吊装板(4’)固接的调整板(3’)，设置在调整板(3’)上的摄像机安装板(2’)、以及安装在摄像机安装板(2’)上的摄像头(1’)。