[实用新型]一种ITO薄膜激光蚀刻机

权利要求书

1.一种ITO薄膜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示系统、激光发生器、切割头、吸附盘、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述工控机、激光发生器、显示系统和Z轴运动系统都安装在机架上，所述切割头安装在Z轴运动系统上，其特征在于：

所述吸附盘固定在X轴运动系统上，位于Y轴运动系统的上方，所述X轴运动系统安装在Y轴运动系统上，并交叉呈十字状，Y轴运动系统固定安装在机架上。

2.根据权利要求1所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：还包括安装在X轴运动系统侧面的第一光学栅尺及第一读数器，以及安装在Y轴运动系统侧面的第二光学栅尺及第二读数器。

3.根据权利要求1所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：还包括安装在X轴运动系统内的第一直线电机，以及安装在Y轴运动系统内的第二直线电机。

4.根据权利要求1所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：所述吸附盘的内部为空腔，其盘面设置阵列有多个与空腔连通的小孔。

5.根据权利要求4所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：所述吸附盘的侧面开有多个通孔，其中，至少一个通孔作为吸附口与所述空腔相通，并连接真空装置或抽风装置；至少一个通孔作为进气口与空腔相通，并连接吹气装置。

6.根据权利要求5所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：所述作为吸附口的通孔及作为进气口的通孔安装有一使吸气及进气错开动作的阀门装置。

7.根据权利要求1所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：所述切割头包括使激光聚焦成能量集中的小光点，以作用在ITO薄膜上激光聚焦镜组、连接压缩气体的吹气部件及连接吸气系统吸尘部件，所述聚焦镜组、吹气部件和吸尘部件同轴设置。

8、根据权利要求1所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：还包括安装在机架上方的风机过滤单元，其风口对准吸附盘与切割头的交汇处。

9、根据权利要求1所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：所述激光发生器为波长是1064nm、532nm或355nm的固体(YAG)激光发生器。

10、根据权利要求1所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在于：还包括安装在机架上自动门及保护装置，其位于吸附盘前方，与所述机架前挡板并排布置。