[实用新型]直拉硅单晶制备用坩埚有效
| 申请号： | 200720173441.7 | 申请日： | 2007-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN201089804Y | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张果虎;周旗钢;戴小林;姜舰 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;F27B14/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直拉硅单晶 制备 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种直拉硅单晶制备用坩埚，它包括：坩埚上部、与下轴连接的埚底、其特征在于：所述的坩埚上部为一加强圈，它支撑在埚底的凸台上，该凸台位于石英坩埚转弯的下方。
2.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶制备用坩埚，其特征在于：所述的加强圈靠近石英埚的一侧镶一石墨做成的内侧环。
3.根据权利要求2所述的一种直拉硅单晶制备用坩埚，其特征在于：所述的加强圈靠近石英埚的一侧镶一石墨做成的内侧环，所述的内侧环下部带凹槽，凹槽内嵌入加强圈。
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