[实用新型]自动显定影机

权利要求书

1. 一种自动显定影机，其特征在于机台上设置一组转载装置、一组定位装置、至少一加工区、以及一回风装置，其中：

机台上包括有前、后料篮及一废料槽；转载装置至少包括有一可将晶圆自机台前料篮取出经过定位装置、加工区喷洒显定影剂后置入后料篮的机械臂；

定位装置至少包括有一设置在加工区内以挟持于晶圆侧边的定位器、以及一设置在定位器下方以吸附固定晶圆的负压吸盘；

加工区具有若干隔板、至少一关闭时可使晶圆被隔离在加工区内喷洒显定影剂的闸门、以及一组对加工区内晶圆喷洒显定影剂的喷头；

回风装置设置在加工区下方连接抽气马达，至少包括有一框设在吸盘周围下方的风罩、以及一连接风罩的导流风管，废料槽设于导流风管下方以盛接液态显定影剂。

2. 如权利要求1所述的自动显定影机，其特征在于转载装置进一步在机械臂端部设置一连接负压装置以吸附晶圆的托盘。

3. 如权利要求1所述的自动显定影机，其特征在于定位器是由一对利用驱动组件驱动的弧缘夹爪所构成，该弧缘夹爪为可闭合挟持于晶圆侧缘的左、右对应形状。

4. 如权利要求1所述的自动显定影机，其特征在于定位装置进一步包括有一设置在加工区外的预定位器。

5. 如权利要求4所述的自动显定影机，其特征在于预定位器是由呈同心等径放射状态样的预定位爪所构成。

6. 如权利要求1所述的自动显定影机，其特征在于导流风管进一步包括有一连接于风罩的入风口、一连接抽气马达的出风口，且出风口连接一向上延伸至机台背部的排风管。

7. 如权利要求1所述的自动显定影机，其特征在于机台的加工区为两组，两组加工区内各设有一组定位装置，底部连接回风装置。

8. 如权利要求7所述的自动显定影机，其特征在于定位装置进一步包括有一设置在加工区外的预定位器。