[实用新型]上下片机构有效
申请号: | 200720304905.3 | 申请日: | 2007-11-30 |
公开(公告)号: | CN201115957Y | 公开(公告)日: | 2008-09-17 |
发明(设计)人: | 唐小飞;胡泓 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | B25J3/00 | 分类号: | B25J3/00;B25J19/00;B65G49/07 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李敏 |
地址: | 518172广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 下片 机构 | ||
1、一种上下片机构,其特征在于,包括送片机构、预对位机构和机械臂组件机构;送片机构包括堆放装置和连接在其下方的使其升降的升降组件;预对位机构包括预对位台和连接在其下方控制其上下运动的预对位装置;
机械臂组件机构包括上机械臂、下机械臂和机械臂驱动装置,机械臂驱动装置使上机械臂和下机械臂来回水平直线运动;
上机械臂与下机械臂纵向并列布置;
上机械臂和下机械臂的中轴线位于同一垂直平面内;
机械臂组件机构与一转动装置相连,转动装置可使机械臂组件机构水平转动。
2、根据权利要求1所述的上下片机构,其特征在于,所述上机械臂借助一悬臂支架置于下机械臂正上方。
3、根据权利要求1所述的上下片机构,其特征在于,所述堆放装置位于上机械臂和下机械臂的水平直线运动轨迹上。
4、根据权利要求1所述的上下片机构,其特征在于,所述预对位台的中心位于上机械臂和下机械臂的中轴线所在的垂直平面内。
5、根据权利要求1所述的上下片机构,其特征在于,所述预对位机构还包括一位于预对位台侧上方的传感器。
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