[实用新型]上下片机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体产品的自动测试装置，特别是一种晶圆片的机械传送机构。

背景技术

晶圆片的机械传送机构是全自动探针台的一个重要组成部分，主要功能是实现晶圆片在堆放装置与测试装置之间自动快速、稳定可靠的传输。

目前，国内大部分测试厂家使用的都是手动上下晶圆片的探针台，这种手动上下晶圆片的探针台有以下三大不足之处：(1)由于每完成一片晶圆测试，设备都要中断，然后人工卸片(下片)、装片，这样既影响测试效率，又耗费大量人工；(2)在手动装片、卸片过程中，晶圆片容易被污染；(3)随着半导体行业的发展，8英寸、12英寸晶圆片越来越多，手动上下晶圆片的探针台已经不能满足使用要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种全自动的晶圆片传送机构，以实现晶圆片自动快速、稳定可靠的传输。

为实现上述目的，本实用新型的自动上下片机构，包括送片机构、预对位机构和机械臂组件机构；送片机构包括堆放装置和连接在其下方的使其升降的升降组件；预对位机构包括预对位台和连接在其下方控制其上下运动的预对位装置；

机械臂组件机构包括上机械臂、下机械臂和机械臂驱动装置，机械臂驱动装置使上机械臂和下机械臂来回水平直线运动；

上机械臂与下机械臂纵向并列布置；

上机械臂和下机械臂的中轴线位于同一垂直平面内；

机械臂组件机构与一转动装置相连，转动装置可使机械臂组件机构水平转动。

所述上机械臂借助一悬臂支架置于下机械臂正上方。

所述堆放装置位于上机械臂和下机械臂的水平直线运动轨迹上。

所述预对位台的中心位于上机械臂和下机械臂的中轴线所在的垂直平面内。

所述预对位机构还包括一位于预对位台侧上方的传感器。

工作时，机械臂组件机构从送片机构的堆放装置中取出待测的晶圆片，放在预对位机构上进行预对位，然后将待测的晶圆片送到测试装置的承片台上进行测试，最后将测试好的晶圆片送回堆放装置中。由于设计了两个机械臂，在测试装置的承片台上进行晶圆片上下片时，下机械臂先把测试装置上测试好的晶圆片取下，随后上机械臂把早已预对位好的晶圆片立刻送上，这样就使得整个上下片过程变得快速、流畅，从而节省了换片时间，提高了整机的测试效率。

附图说明

图1为本实用新型所述自动上下片机构的结构示意图。

图2为本实用新型所述送片机构的结构示意图。

图3为本实用新型所述升降组件的结构示意图。

图4为本实用新型机械臂组件机构的主视图。

图5为图4中上、下机械臂组件的连接结构示意图。

图6为本实用新型预对位机构的连接结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

参照图1至图6，本实用新型包括：送片机构1、预对位机构2和机械臂组件机构3。

送片机构1包括堆放装置11、升降组件12和固定安装在堆放装置上的花篮13，晶圆片放于花篮13内，升降组件12位于堆放装置11的下方，可以使堆放装置11上下移动；预对位机构2和机械臂组件机构3位于旋转座4上，旋转座4下方设有转动装置5，转动装置5可带动旋转座4在0°和90°位置上来回旋转(以图1所示的位置定义为0°位置)。

如图2和图3所示，堆放装置11通过与导向轴固定上块121的连接固定在升降组件12的上端。而升降组件12是由滚珠丝杠副122、丝杠螺母座123、导向轴124、丝杠固定端125、大步进电机127、导向轴固定上块121和导向轴固定下块126及标准件组成。滚珠丝杠副122及导向轴124的两端分别固定在导向轴固定上块121、导向轴固定下块126上。这样大步进电机127通过联轴器来驱动滚珠丝杠副122(丝杠螺母已锁定不动)，三根导向轴124起导向作用，从而使得固定在堆放装置11上的花篮13可以在滚珠丝杠副122有效的行程范围内升、降到任意位置。

如图4和图5所示，机械臂组件机构3的旋转运动是由转动装置5来完成的。主动轮-小齿轮52安装在步进电机51的轴上，从动轮-大齿轮53固定在旋转轴(图中未示出)上，旋转座4锁定在大齿轮53上端，从而通过步进电机51带动大齿轮53旋转，就可以完成机械臂组件机构3在0°和90°位置上来回的自由旋转，在0°时机械臂组件机构3正对花篮13，在90°时机械臂组件机构3正对测试装置(图中未示出)。