[实用新型]用以存放半导体组件或光罩的存放装置及其过滤装置

权利要求书

1.一种过滤装置，其特征在于，包含有：

一第一部分，具有一通孔与一卡制机构；

一第二部分，具有一通孔与该第一部分的通孔对齐，及一啮合机构与该第一部分的卡制机构相结合；

一过滤件，置于该第一部分或第二部分上，覆盖该通孔；以及

一固定件，用以固定该过滤件。

2.权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，该固定件卡设于或包覆该第一部分或第二部分。

3.权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，该固定件覆盖或框住该过滤件。

4.权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，该固定件具有至少一孔隙。

5.权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，该卡制机构为至少一卡勾。

6.如权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，该啮合部分为一槽体或环状槽体与该卡勾结合，使第一部分与第二部分卡固。

7.如权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，该卡勾为至少一对或环状。

8.如权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，该卡勾是卡固于该第二部分面对该通孔的内围或卡固于该第二部分的外围。

9.权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，该第一部分另包含有一支撑部。

10.权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，该第二部分另包含有一支撑部。

11.如权利要求9所述的过滤装置，其特征在于，该第一部分的支撑部为环状突缘、至少一突脚或至少一勾角。

12.如权利要求10的过滤装置，其特征在于，该第二部分的支撑部为环状突缘、至少一突脚或至少一勾角。

13.一种存放装置，用以存放半导体组件或光罩，其特征在于包含有：

一第一盖体；

一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳半导体组件或光罩，其中该第二盖体具有至少一孔；以及

一过滤装置，设置于该第二盖体，与该第二盖体的孔结合，该过滤装置包含有：一第一部分，具有一通孔与一卡制机构；

一第二部分，具有一通孔与该第一部分的通孔对齐，及一啮合机构与该第一部分的卡制机构相结合；

一过滤件，置于该第一部分或第二部分上，覆盖该通孔；以及

一固定件，用以固定该过滤件。

14.如权利要求13所述的存放装置，其特征在于，该固定件为一板件，覆盖于该第二盖体面对该内部空间的表面上。

15.如权利要求13所述的存放装置，其特征在于，该过滤装置的第一部分另包含有一支撑部，用以使该第一部分可卡设于该第二盖体。

16.如权利要求13所述的存放装置，其特征在于，该过滤装置的第二部分另包含有一支撑部，用以使该第二部分可卡设于该第二盖体。

17.如权利要求13所述的存放装置，其特征在于，该过滤装置的第一部分另包含有一支撑部，其支撑部的直径大于该第二盖体的孔的直径。

18.如权利要求13所述的存放装置，其特征在于，该过滤装置的第二部分另包含有一支撑部，其支撑部的直径大于该第二盖体的孔的直径。

19.一种存放装置，用以存放半导体组件或光罩，其特征在于包含有：

一第一盖体；

一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳半导体组件或光罩，其中该第二盖体包含有：

一本体，具有至少一孔；以及

一板件，设于该本体上面对该内部空间，具有一孔对应于该本体的孔；

一过滤件，设于该板件上，覆盖该板件的孔；以及

一固定件，用以固定该过滤件于该板件上。

20.如权利要求19所述的存放装置，其特征在于，该板件是延伸至该本体的孔。

21.如权利要求19所述的存放装置，其特征在于，该固定件卡设于或包覆该板件。