[发明专利]台架装置

说明书

技术领域

本发明涉及门形架移动型的台架装置，具体地说，涉及例如对液晶板用的玻璃基板涂敷密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材时使用的台架装置，或者在采用照相机的表面检查或表面不平度计测等时使用的台架装置。

背景技术

已往，例如在对液晶板用的玻璃基板涂敷密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的涂敷工序中，或者在采用照相机的表面检查工序等中，要使用门形架移动型的台架装置，该门形架移动型的台架装置使喷出膏状材的喷嘴或照相机沿玻璃基板的面内两个方向移动(例如见下述专利文献1)。

图9是表示此种已往台架装置的概略构造的平面图。图示的已往台架装置1备有在XY面内支承被处理基板的载置台2、夹着该载置2设置并沿X轴方向延伸的一对导架3X、在该一对导架之间延伸的门形架3Y、和设在该门形架3Y上的基板处理单元4。

门形架3Y能沿着导架3X、3X的上面移动地安装在该导架3X、3X上。基板处理单元4由喷出密封剂、液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的喷嘴、或者观察基板表面的照相机单元等构成，能沿着门形架3Y的下面自由移动地安装在该门形架3Y上。门形架3Y和基板处理单元4被线性马达等的驱动源驱动，分别沿着导架3X和门形架3Y移动。

在上述构造的已往的台架装置1中，基板处理单元4与支承在载置台2上的被处理基板表面相向地被移送，对被处理基板表面进行上述各种膏状材的涂敷、或表面性状的摄影。并且，使基板处理单元4分别沿着X轴、Y轴移动，用该基板处理单元4连续地或间歇地对被处理基板整个区域进行预定的处理动作。

另外，在这种台架装置中，为了将被处理基板运入、运出载置台2，或者为了基板处理单元4的维护、检修等，导架3X设有作业区域R1和非作业区域R2，作业区域R1规定出进行基板处理所必需的门形架3Y的移动路径，非作业区域R2与作业区域R1不同，用于使门形架3Y避开载置台2正上方位置。即，已往的台架装置1中的导架3X要具有能形成作业区域R1和非作业区域R2的长度。

专利文献1：日本特许第3701882号公报

专利文献2：日本特开2006-12911号公报

发明要解决的课题

近年来，被处理基板有日益大型化的倾向，随之，对被处理基板进行处理的台架装置也必须大型化。

但是，随着台架装置的大型化，存在不能运输该台架装置的问题。例如，当被处理基板的尺寸为3000mm×2800mm时，台架装置的短边必须在3500mm以上，这样的尺寸在现有的道路上是不能实现陆路运输的。

为了解决这一问题，已往提出了将台架装置分割成若干部分的方法(例如专利文献2)。但是，在图9所示那样的门形架移动型的台架装置1中，如果在门形架3Y的移动路径上存在导架3X的接缝，则在通过该接缝时，会诱发门形架3Y的振动或移动速度的变化，这样，基板处理单元4就不能准确地进行基板处理。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的是提供一种台架装置，该台架装置能分割而适应陆路运输，并且能确保对被处理基板进行准确的处理。

解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的台架装置备有：支承被处理基板的基板支承面；夹着上述基板支承面地相向配置的一对导架；在上述一对导架之间延伸并可移动地支承在上述一对导架上的门形架；设置在上述门形架上的基板处理单元；其特征在于，上述导架由主架部和副架部的结合体构成；上述主架部形成上述基板处理单元进行基板处理所需的上述门形架的移动路径；上述副架部与上述主架部的长度方向一端部或两端部相接，形成上述门形架的到达非作业位置的移动路径。

在上述构造的本发明台架装置中，由于引导门形架移动的导架，做成为上述主架部和副架部的分割构造，所以，可以将台架装置缩短到能进行陆路运输的长度。另外，由于导架的分割位置不在门形架的作业区域内，所以，门形架不会产生振动及移动速度的变化，可以确保对被处理基板进行准确的处理。

另外，在本发明的台架装置中，只要至少对形成基板处理所需的门形架移动路径的区域确保高的移送精度即可。因此，上述主架部与副架部相比，门形架的移送精度设计得较高。这样，无需将整个导架做成为高精度，所以，可以减低导架的制作成本及设置作业工作量。

另外，在导架上，敷设了引导门形架直行移动的线性引导件；该线性引导件在与导架的分割位置不同的位置处接合。这样，可以减少导架分割位置处的门形架移送精度的降低，同时，可以缓和上述主架部与副架部之间的组装精度，提高作业性。