[发明专利]压电振动器件

权利要求书

1.一种压电振动器件，其设有保持压电振动片的基座、和为了 气封保持在所述基座上的所述压电振动片而与基座相接合的盖，其特 征在于，

所述基座的与所述盖的接合区域，至少由由镍和钴构成的镍钴 层、和由层积在所述镍钴层上的金属材料构成的金属层构成，

所述基座和所述盖，利用金属焊料加热熔融接合，

所述金属焊料由非共晶组成部和第1金属间化合物构成，

所述非共晶组成部是由金和锡构成且金的组成比大的第2金属 间化合物、以及由金和锡构成且金和锡以相同程度的组成比构成的第 3金属间化合物的非共晶状态的结构。

2.一种压电振动器件，其设有保持压电振动片的基座、和为了 气封保持在所述基座上的所述压电振动片而与基座相接合的盖，其特 征在于，

所述基座的与所述盖的接合区域，至少由由镍和钴构成的镍钴 层、和由层积在所述镍钴层上的金属材料构成的金属层构成，

所述基座和所述盖，利用金属焊料加热熔融接合，

所述金属焊料和所述接合区域，至少由非共晶组成部、第1金属 间化合物、以及由镍和钴构成的镍钴层构成，

所述非共晶组成部，是由金和锡构成且金的组成比大的第2金属 间化合物、以及包含由金和锡构成且金和锡相同程度的化合物的第3 金属间化合物的非共晶状态的结构，

所述第1金属间化合物由镍和锡构成。

3.根据权利要求1或2所述的压电振动器件，其特征在于，所 述加热熔融接合是以360℃以下的加热温度进行的。

4.根据权利要求1或2所述的压电振动器件，其特征在于，所 述镍钴层中的镍和钴的质量比率为1∶1～3∶1。

5.根据权利要求3所述的压电振动器件，其特征在于，所述镍 钴层中的镍和钴的质量比率为1∶1～3∶1。

6.根据权利要求1或2所述的压电振动器件，其特征在于，所 述金属层的厚度为0.3～1.0μm。

7.根据权利要求3所述的压电振动器件，其特征在于，所述金 属层的厚度为0.3～1.0μm。

8.根据权利要求4所述的压电振动器件，其特征在于，所述金 属层的厚度为0.3～1.0μm。

9.根据权利要求5所述的压电振动器件，其特征在于，所述金 属层的厚度为0.3～1.0μm。