[发明专利]层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置无效
申请号: | 200780001718.0 | 申请日: | 2007-01-10 |
公开(公告)号: | CN101360989A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | 小林孝正;尔见正树;三笠康之 | 申请(专利权)人: | 日本电工株式会社 |
主分类号: | G01N21/896 | 分类号: | G01N21/896;G02B5/30;G01M11/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 层叠 薄膜 制造 方法 缺陷 检测 装置 以及 图像 显示装置 | ||
1.一种层叠薄膜的制造方法,包括:
至少层叠偏振片和相位差层制造层叠薄膜的工序、和对所制造的层叠 薄膜进行缺陷检查的工序,其特征在于,
所述缺陷检查工序包括:
通过配置在连续运送的层叠薄膜的薄膜面的一侧的光源向层叠薄膜 照射光的工序、
通过配置在所述薄膜面的另一侧的摄像部对层叠薄膜的透过光像进 行拍摄的工序、
根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于所述偏振片的缺陷进行检测 的缺陷检测工序、和
对在所述薄膜面和摄像部之间的光程上配置的检查用的偏光滤光器 的偏光轴和所述偏振片的偏光轴的相对角度位置进行调节的工序,
所述偏光滤光器的相对角度位置调节是在0°<x≤15°的范围内调节 偏光滤光器的相对角度位置x,以使输入到摄像部的可见光的光量成为最 小值,
并且,在所述调节的工序中,最初使用不存在缺陷的层叠薄膜设置成 交叉尼科尔,然后调节所述相对角度位置,在该调节工序之后进行所述缺 陷检测工序。
2.根据权利要求1所述的层叠薄膜的制造方法,其特征在于所述调节 是借助计算机利用光量检测部和光轴调节部进行,利用光量检测部检测出 成为所述最小值的偏光滤光器的位置,并利用光轴调节部调节所述偏光滤 光器的位置以便成为所述最小值。
3.一种层叠薄膜的缺陷检测方法,是至少层叠有偏振片和相位差层 的层叠薄膜的缺陷检测方法,其特征在于,包括:
通过配置在连续运送的层叠薄膜的薄膜面的一侧的光源向层叠薄膜 照射光的工序、
通过配置在所述薄膜面的另一侧的摄像部对层叠薄膜的透过光像进 行拍摄的工序、
根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于所述偏振片的缺陷进行检测 的缺陷检测工序、和
对在所述薄膜面和摄像部之间的光程上配置的检查用的偏光滤光器 的偏光轴和所述偏振片的偏光轴的相对角度位置进行调节的工序,
所述偏光滤光器的相对角度位置调节是在0°<x≤15°的范围内调节 偏光滤光器的相对角度位置x,以使输入到摄像部的可见光的光量成为最 小值,
并且,在所述调节的工序中,最初使用不存在缺陷的层叠薄膜设置成 交叉尼科尔,然后调节所述相对角度位置,在该调节工序之后进行所述缺 陷检测工序。
4.如权利要求3所述的层叠薄膜的缺陷检测方法,其特征在于,
所述相位差层的面内的取向角偏差为6°以上。
5.根据权利要求3所述的层叠薄膜的缺陷检测方法,其特征在于所述 调节是借助计算机利用光量检测部和光轴调节部进行,利用光量检测部检 测出成为所述最小值的偏光滤光器的位置,并利用光轴调节部调节所述偏 光滤光器的位置以便成为所述最小值。
6.一种层叠薄膜的缺陷检测装置,是至少层叠有偏振片和相位差层 的层叠薄膜的缺陷检测装置,其特征在于,包括:
配置在连续运送的层叠薄膜的薄膜面的一侧并对层叠薄膜照射光的 光源,
配置在所述薄膜面的另一侧并对层叠薄膜的透过光像进行拍摄的摄 像部,
在所述薄膜面和摄像部之间的光程上配置的检查用的偏光滤光器,
根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于所述偏振片的缺陷进行检测 的缺陷检测部,和
对偏光滤光器的偏光轴和所述偏振片的偏光轴的相对角度位置进行 调节的光轴调节部;
通过所述光轴调节部,在0°<x≤15°的范围内调节所述偏光滤光器 的相对角度位置x,使得输入到摄像部的可见光的光量成为最小值,
并且,在所述调节时,最初使用不存在缺陷的层叠薄膜设置成交叉尼 科尔,然后调节所述相对角度位置,在该调节之后对所述缺陷进行检测。
7.如权利要求6所述的层叠薄膜的缺陷检测装置,其特征在于,
所述光轴调节部通过使偏光滤光器旋转来调节相对位置角度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本电工株式会社,未经日本电工株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200780001718.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。