[发明专利]层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置无效

专利信息
申请号: 200780001718.0 申请日: 2007-01-10
公开(公告)号: CN101360989A 公开(公告)日: 2009-02-04
发明(设计)人: 小林孝正;尔见正树;三笠康之 申请(专利权)人: 日本电工株式会社
主分类号: G01N21/896 分类号: G01N21/896;G02B5/30;G01M11/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 层叠 薄膜 制造 方法 缺陷 检测 装置 以及 图像 显示装置
【权利要求书】:

1.一种层叠薄膜的制造方法,包括:

至少层叠偏振片和相位差层制造层叠薄膜的工序、和对所制造的层叠 薄膜进行缺陷检查的工序,其特征在于,

所述缺陷检查工序包括:

通过配置在连续运送的层叠薄膜的薄膜面的一侧的光源向层叠薄膜 照射光的工序、

通过配置在所述薄膜面的另一侧的摄像部对层叠薄膜的透过光像进 行拍摄的工序、

根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于所述偏振片的缺陷进行检测 的缺陷检测工序、和

对在所述薄膜面和摄像部之间的光程上配置的检查用的偏光滤光器 的偏光轴和所述偏振片的偏光轴的相对角度位置进行调节的工序,

所述偏光滤光器的相对角度位置调节是在0°<x≤15°的范围内调节 偏光滤光器的相对角度位置x,以使输入到摄像部的可见光的光量成为最 小值,

并且,在所述调节的工序中,最初使用不存在缺陷的层叠薄膜设置成 交叉尼科尔,然后调节所述相对角度位置,在该调节工序之后进行所述缺 陷检测工序。

2.根据权利要求1所述的层叠薄膜的制造方法,其特征在于所述调节 是借助计算机利用光量检测部和光轴调节部进行,利用光量检测部检测出 成为所述最小值的偏光滤光器的位置,并利用光轴调节部调节所述偏光滤 光器的位置以便成为所述最小值。

3.一种层叠薄膜的缺陷检测方法,是至少层叠有偏振片和相位差层 的层叠薄膜的缺陷检测方法,其特征在于,包括:

通过配置在连续运送的层叠薄膜的薄膜面的一侧的光源向层叠薄膜 照射光的工序、

通过配置在所述薄膜面的另一侧的摄像部对层叠薄膜的透过光像进 行拍摄的工序、

根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于所述偏振片的缺陷进行检测 的缺陷检测工序、和

对在所述薄膜面和摄像部之间的光程上配置的检查用的偏光滤光器 的偏光轴和所述偏振片的偏光轴的相对角度位置进行调节的工序,

所述偏光滤光器的相对角度位置调节是在0°<x≤15°的范围内调节 偏光滤光器的相对角度位置x,以使输入到摄像部的可见光的光量成为最 小值,

并且,在所述调节的工序中,最初使用不存在缺陷的层叠薄膜设置成 交叉尼科尔,然后调节所述相对角度位置,在该调节工序之后进行所述缺 陷检测工序。

4.如权利要求3所述的层叠薄膜的缺陷检测方法,其特征在于,

所述相位差层的面内的取向角偏差为6°以上。

5.根据权利要求3所述的层叠薄膜的缺陷检测方法,其特征在于所述 调节是借助计算机利用光量检测部和光轴调节部进行,利用光量检测部检 测出成为所述最小值的偏光滤光器的位置,并利用光轴调节部调节所述偏 光滤光器的位置以便成为所述最小值。

6.一种层叠薄膜的缺陷检测装置,是至少层叠有偏振片和相位差层 的层叠薄膜的缺陷检测装置,其特征在于,包括:

配置在连续运送的层叠薄膜的薄膜面的一侧并对层叠薄膜照射光的 光源,

配置在所述薄膜面的另一侧并对层叠薄膜的透过光像进行拍摄的摄 像部,

在所述薄膜面和摄像部之间的光程上配置的检查用的偏光滤光器,

根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于所述偏振片的缺陷进行检测 的缺陷检测部,和

对偏光滤光器的偏光轴和所述偏振片的偏光轴的相对角度位置进行 调节的光轴调节部;

通过所述光轴调节部,在0°<x≤15°的范围内调节所述偏光滤光器 的相对角度位置x,使得输入到摄像部的可见光的光量成为最小值,

并且,在所述调节时,最初使用不存在缺陷的层叠薄膜设置成交叉尼 科尔,然后调节所述相对角度位置,在该调节之后对所述缺陷进行检测。

7.如权利要求6所述的层叠薄膜的缺陷检测装置,其特征在于,

所述光轴调节部通过使偏光滤光器旋转来调节相对位置角度。

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