[发明专利]层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及至少层叠有偏振片和面内的取向角偏差大的相位差层的层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置。 

背景技术

作为层叠薄膜，有具备如图10例示的层叠结构的膜。该层叠薄膜11是由在偏振镜1a的两侧隔着胶粘剂层层叠的保护薄膜1b构成的偏振片1、和在该偏振片1的一个面上隔着粘合剂层2a层叠的隔离件2构成。当对在对该偏振片1中存在的异物、损伤、裂点(knick)等缺陷进行检查时，利用适当的光源向偏振片1照射光，借助线传感器或二维电视摄像机等的摄像部获得其反射光像或透过光像，根据获得的图像数据，进行缺陷检测。另外，在进行偏振片1的检查时，在使检查用偏光滤光器介于光源和摄像部之间的光程中的状态下，获得图像数据。通常该检查用偏光滤光器的偏光轴(例如，偏光吸收轴)被配置成与作为检查对象的偏振片1的偏光轴(例如，偏光吸收轴)正交的状态(交叉尼科耳)。通过配置成交叉尼科耳，假设不存在缺陷，则从摄像部输入全面黑的图像，如果存在缺陷，则该部分不为黑。因此，通过设定适当的阈值，可以检测出缺陷。 

但是，在偏振片1是具有隔离件1的层叠薄膜的情况下，由于隔离件2具有双折射性(相位差)，在该情况下使直线偏振光成为椭圆偏振光，实质上偏振片1和检查用偏光滤光器没有成为交叉尼科耳的状态。其结果，产生无法高精度检查层叠薄膜11含有的偏振片1的缺陷的问题。 

作为解决了该问题的层叠薄膜的缺陷检测装置，公知的是下述专利文献1所公开的偏振片检查装置。该偏振片检查装置具有光源、和使来自该 光源的光成为直线偏振光的检查用偏光滤光器，使该直线偏振光入射到带有保护膜(相当于相位差层)的偏振片，根据其透过光像进行缺陷检测。进而，在从光源透过带有保护膜的偏振片的光程上，配置有对通过保护膜的光的双折射进行补偿的相位差板。通过另外配置该相位差板，可以消除基于保护膜的相位变化，对基于保护膜的光的双折射进行补偿。进而，为了对每个产品的基于微妙不同的保护膜的双折射进行补偿，还公开有配置可以通过电压调节光的相位角的可变偏振光用光学元件的结构例。 

专利文献1：特开2005-9919号公报 

但是，在上述专利文献1中，有必要另外配置检查用的相位差板或可变偏振光用光学元件，所以在多余的部件增加的同时，由于多余部件的存在而导致光源的光量降低，使检查精度降低，所以有时无法满足近年来的偏振片所要求的高精度、高品质的检查要求。进而，当构成层叠薄膜11的相位差层是如同隔离件那样在最终使用时被剥离的临时粘合薄膜时，这样的薄膜是没有必要严格控制面内相位差或分子的取向角的薄膜，薄膜面内以及每产品批次的取向角偏差变得比较大，所以在专利文献1中存在即使使用检查用的特定相位差板也无法完全消除相位差、检查精度未得到提高的问题。 

该相位差层产生的问题在于，不仅使直线偏振光成为椭圆偏振光，而且由于上述偏差，在图像中心部和端部的偏光状态也不同，由摄像部输入的图像在中心部和端部的亮度不同。理想的是缺陷部和其以外的图像部分的对比度与图像中的位置无关而恒定，但基于上述理由，对比度变得不均匀。其结果，虽然存在明显大的气孔等的亮点，但仍被判断为合格，相反，虽然是应被判断为合格的非常小的缺陷，但有可能被误判断为不合格。例如，在图8中，左侧的缺陷可以容易地检测出，但右侧的缺陷由于缺陷周围的显示变得过亮，所以容易漏检。即，在图像的中心部和端部需要缺陷检测能力恒定。因此，如专利文献1所示，仅仅插入相位差板，无法进行考虑了上述偏差的缺陷检查。 

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而完成的发明，其课题在于，提供无需将新 的部件插入到光程中就可以进行已将构成层叠薄膜的相位差层的光学性能偏差考虑进去的缺陷检测的层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置。 

为了解决上述课题，本发明的层叠薄膜的制造方法，包括： 

至少层叠偏振片和相位差层制造层叠薄膜的工序、和对所制造的层叠薄膜进行缺陷检查的工序，其特征在于，上述缺陷检查工序包括： 

通过配置在层叠薄膜的薄膜面的一侧的光源向层叠薄膜照射光的工序、 

通过配置在上述薄膜面的另一侧的摄像部对层叠薄膜的透过光像进行拍摄的工序、 

根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于层叠薄膜的缺陷进行检测的缺陷检测工序、和