[发明专利]气流输送装置有效

专利信息
申请号: 200780003160.X 申请日: 2007-02-01
公开(公告)号: CN101374741A 公开(公告)日: 2009-02-25
发明(设计)人: 川原昭彦;中村真二;田口英一;松成信一 申请(专利权)人: 平田机工株式会社
主分类号: B65G51/03 分类号: B65G51/03;B65G49/07;H01L21/677
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人: 熊志诚
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 气流 输送 装置
【权利要求书】:

1.一种气流输送装置,具有:

设置了多个开口的基台,

在上述多个开口的每一个上铺设的喷嘴板,其特征在于:

所述喷嘴板具有:构成上浮支撑板状物的输送面的平坦部;和设置在该平 坦部周围且向所述输送面一侧喷射上浮用气体的多个倾斜喷射孔,

所述喷嘴板还具有与相对的两边或两两相对的四边分别平行的槽部,上述 槽部由第一壁及第二壁规定,

所述倾斜喷射孔的开口部形成于规定所述槽部的第一壁上,

所述倾斜喷射孔以上述开口部的轴线与所述第一壁基本成直角的方式形 成,从所述多个开口分别流入的加压气体作为由上述多个倾斜喷射孔喷出的上 浮用气体,从不会与同所述第一壁相对并规定所述槽部的所述第二壁直接接触 的方向进行喷射。

2.根据权利要求1所述的气流输送装置,其特征在于,

所述槽部包括由所述第一壁及第二壁构成的具有60度-120度的开口角的 V字型槽,

所述第一壁及第二壁相互相对,且上述V字型槽的所述平坦部一侧的壁是 上述第二壁。

3.根据权利要求1或2中所述的气流输送装置,其特征在于,所述倾斜喷射 孔为细孔。

4.根据权利要求1或2中所述的气流输送装置,其特征在于,所述倾斜喷射 孔为切缝形状。

5.根据权利要求1或2中任所述的气流输送装置,其特征在于,

所述喷嘴板至少设有一个具有从所述平坦部凹下的锪孔的螺栓孔,

所述螺栓孔以贯穿所述锪孔的锪孔面以及在该锪孔面相反一侧上形成的 相对面的方式形成,

该喷嘴板利用贯穿所述螺栓孔的连接部件,使所述相对面与保持部件接 触,并被固定于该保持部件上。

6.根据权利要求1或2中所述的气流输送装置,其特征在于,

至少所述喷嘴板的平坦部由表面固有电阻在23℃时为1013Ω以下的树脂 构成。

7.根据权利要求5所述的气流输送装置,其特征在于,

上述相对面设置成从与所述输送面相反的面突出的形式。

8.根据权利要求1所述的气流输送装置,其特征在于,

多个所述喷嘴板设置成在各个所述板状物的输送方向上以第一间隔进行 间隔,在输送面内与所述输送方向垂直的方向上以第二间隔进行间隔,并将各 个所述喷嘴板以平坦部的高度相一致方式地进行配置,使得多个所述喷嘴板的 平坦部与上述板状物平行。

9.根据权利要求8所述的气流输送装置,其特征在于,

所述第一间隔小于所述第二间隔。

10.根据权利要求8或9中所述的气流输送装置,其特征在于,

在配置多个的所述喷嘴板之间,分别铺设各个镶嵌板,

所述镶嵌板的上面设置在与所述喷嘴板的平坦部同等高度的位置,各个所 述喷嘴板的平坦部以及所述镶嵌板的上面构成所述输送面。

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