[发明专利]气流输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于利用从多个倾斜喷射孔喷出的气体使板状物上浮的采用 包含该喷射孔的喷嘴板的气流输送装置。

背景技术

到目前为止，有关利用气体的喷出使晶片等板状物上浮并且在保持非接触 状态的同时向规定方向输送的气流输送装置(气流浮起装置)，如例如专利文 献1：日本特开平7-228342号公报和专利文献2：日本特开平8-181182号公 报等所公开的那样，设置有使气体向着与该装置的输送面垂直的方向喷出的喷 出孔(以下称为“垂直喷出孔”。另外，在本说明书全文中，该喷出及该喷出 孔与后述的喷射及喷射孔具有同样的意思。反之也相同。)；或者设置有使气体 向着与输送面不垂直的方向喷出的喷出孔(以下称为“倾斜喷出孔”)；另外， 还有同时设置有这两种喷射孔的技术方案已经公知。为了使板状物上浮，从这 些喷射孔喷出的气体最好为高压气体。

作为上述板状物的一例的玻璃衬底，例如一边约为1～2m，厚度为不足 1mm的大型衬底，其重量约为数公斤。该尺寸是例如作为液晶衬底进行研究 的尺寸。为了用气流使这种大而薄的衬底上浮，需要高压的气流或者大量的气 流。另一方面，如果使用这种气流，衬底的中央部位则有向上膨胀的倾向。此 时，由沿着衬底下面流动的气流向左右方向施加力，当左右的力不平衡时，衬 底就会横移或改变方向，其状态有可能变得不稳定。(例如，专利文献3：日 本特开平3-272155号公报)

另外，在专利文献4：日本特开2000-72250号公报中公开了通过钻孔加工 开出的喷出口，通过钻孔可以制作与比玻璃板(被输送物)还大的移送单元的 加工板的输送面倾斜的孔。借助于从该喷出口喷出的气体使该玻璃板上浮，并 控制玻璃板的移动或停止。但是，由于通过钻孔加工倾斜的孔，很难完全防止 钻头的钻刃偏离，不能充分确保孔的喷出口附近的尺寸精度及生产率。另外， 在专利文献4：日本特开2000-72250号公报中，按改进的零部件组合而成的移 动单元由于使用了多个零部件，容易加大成本。另外，即使向着与玻璃板近乎 相同尺寸的大面积输送面的中心喷出气体，通过从各个喷出口喷出的气体的相 互作用很难有望提高上浮力。再有，由于从喷出口向着移送方向的喷出气体也 被合成，所以很难说所喷出的气体全部有效地用于使上述板状物上浮。

另外，在专利文献5：日本特开平11-268830号公报中，公开了通过水平 延伸的水平通道的空气从宽大的倾斜喷出孔喷出的技术方案。由于该倾斜喷出 孔从断面上看为直角三角状，所以很难说能够充分地控制所喷出的气体的方向 性。

在如上所述的喷出孔的构造中，用低压或少量的气流，难于使板状物充分 地上浮；而用高压或大量的气流，又有可能导致板状物的状态不稳定。再有， 由于被输送物的大小与输送面的大小相同，因而在输送大型被输送物时，需要 使用具有更大的输送面的基台，这不仅使该喷出孔的形成变得更加困难，还有 可能减少输送面的设计自由度。另外，即使向大型输送面的中心喷出气体，也 不一定能得到与用小型输送面所得到的同等的上浮效果。

然而，由于在相连的两个输送单元之间通常不配置衬底(板状物)上浮装 置，为了在它们之间进行输送，需要采取由前一输送单元使上述衬底上浮得更 高等特殊措施(专利文献6：日本特开平8-91623号公报)。这是因为，在两个 输送单元之间进行输送时，衬底的前端由于自重而下垂，难以搭在下一个输送 单元的输送面上，或者衬底的前端被下一个输送单元所阻挡，有可能造成衬底 的损伤。

另一方面，已公开的还有，使加压空气从多孔体喷出，非接触地支撑薄板， 配置有从薄板的输送方向正面看为在下方由呈凸状的多孔体构成的支撑部的 输送用支撑装置(专利文献7：日本特开2004-244186号公报)。但是，由于使 用了多孔体，并利用空气的静压支撑薄板，因此不仅空气的加压效率低，而且 存在装置造价过高的缺点。另外，在多孔体上表面做成平面时，需要在各个多 孔体之间调整空气压力，要求有复杂的控制。另外，没有采取防静电措施，对 静电造成的不良影响的对策不充分。

发明内容