[发明专利]磁致电阻传感器设备以及制造这样的磁致电阻传感器设备的方法

权利要求书

1.一种磁致电阻传感器设备(100；100’；100”)，包括：

至少一块基板(10)，以及

至少一个传感元件(30)，分别选自由各向异性磁致电阻传感元件 和巨磁电阻传感元件构成的组，所述传感元件(30)安置于基板(10) 的上方；以及

磁层(20t)，提供至少一个偏置磁场并且被安置于基板(10)的 上方；

其特征在于：

所述磁层与所述至少一个传感元件(30)直接接触并且至少部分 覆盖所述至少一个传感元件(30)，所述磁层(20t)包含退火的各向 异性磁浆和/或可磁化浆。

2.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述基板是硅晶片。

3.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述巨磁电阻传感 元件是多层巨磁电阻传感元件。

4.根据权利要求2所述的传感器设备，其中，所述巨磁电阻传感 元件是多层巨磁电阻传感元件。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的传感器设备，还包括：另 一磁层(20b)，位于所述基板(10)下方，使得所述基板(10)处于 所述另一磁层和所述至少一个传感元件(30)之间，所述另一磁层包 含退火的各向异性磁浆和/或可磁化浆。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的传感器设备，其特征在于， 所述磁层含有永磁场特性。

7.根据权利要求5所述的传感器设备，其特征在于，所述磁层含 有永磁场特性。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的传感器设备，其中，所述 的浆基于可磁化粉末，所述可磁化粉末选自由铁氧体粉末和包含至少 一种稀土化合物的粉末构成的组。

9.根据权利要求5所述的传感器设备，其中，所述的浆基于可磁 化粉末，所述可磁化粉末选自由铁氧体粉末和包含至少一种稀土化合 物的粉末构成的组。

10.根据权利要求6所述的传感器设备，其中，所述的浆基于可 磁化粉末，所述可磁化粉末选自由铁氧体粉末和包含至少一种稀土化 合物的粉末构成的组。

11.根据权利要求7所述的传感器设备，其中，所述的浆基于可 磁化粉末，所述可磁化粉末选自由铁氧体粉末和包含至少一种稀土化 合物的粉末构成的组。

12.根据权利要求2至4中任一项所述的传感器设备，其特征在 于，至少部分和/或至少局部地将所述的浆丝网印刷在基板(10)上。

13.根据权利要求1至4中任一项所述的传感器设备，其中，所 述传感器设备是梯度计、磁力计、用于对所要测量的磁场的场强进行 测量的传感器、线性位移传感器和转速传感器之一。

14.根据权利要求5所述的传感器设备，其中，所述传感器设备 是梯度计、磁力计、用于对所要测量的磁场的场强进行测量的传感器、 线性位移传感器和转速传感器之一。

15.根据权利要求6所述的传感器设备，其中，所述传感器设备 是梯度计、磁力计、用于对所要测量的磁场的场强进行测量的传感器、 线性位移传感器和转速传感器之一。

16.根据权利要求7所述的传感器设备，其中，所述传感器设备 是梯度计、磁力计、用于对所要测量的磁场的场强进行测量的传感器、 线性位移传感器和转速传感器之一。

17.根据权利要求8所述的传感器设备，其中，所述传感器设备 是梯度计、磁力计、用于对所要测量的磁场的场强进行测量的传感器、 线性位移传感器和转速传感器之一。

18.根据权利要求9所述的传感器设备，其中，所述传感器设备 是梯度计、磁力计、用于对所要测量的磁场的场强进行测量的传感器、 线性位移传感器和转速传感器之一。

19.根据权利要求10所述的传感器设备，其中，所述传感器设备 是梯度计、磁力计、用于对所要测量的磁场的场强进行测量的传感器、 线性位移传感器和转速传感器之一。